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龙图腾网获悉上海大学申请的专利一种DPP型极紫外光源碎屑综合过滤装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119472185B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411581282.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种DPP型极紫外光源碎屑综合过滤装置及其方法是由姜琳;杨国;张建华;李浩源;闫腾飞;凌晓设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种DPP型极紫外光源碎屑综合过滤装置及其方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体制造设备技术领域，公开了一种DPP型极紫外光源碎屑综合过滤装置及其方法，本发明提供的DPP型极紫外光源碎屑综合过滤装置包括：碎屑引入部、真空差分部、气体吹扫部、箔阱过滤部、原子氢部、延迟场离子能量分析仪部、石英晶体微天平部、控制和监测系统。本发明的装置通过多种清除机制真空差分、气体吹扫、箔阱过滤、原子氢反应相结合，并引入高精度的监测系统离子能量分析仪、石英晶体微天平，能够有效过滤和缓解不同类型、不同粒径的碎屑污染。同时，实时的在线监测系统可以根据监测结果及时调节各清除机制的工作状态，实现高效、精准的碎屑清除，延长光刻系统组件的使用寿命，提升光刻效率。

本发明授权一种DPP型极紫外光源碎屑综合过滤装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种DPP型极紫外光源碎屑综合过滤装置，其特征在于，所述DPP型极紫外光源碎屑综合过滤装置包括： 碎屑引入部、真空差分部、气体吹扫部、箔阱过滤部、原子氢部、延迟场离子能量分析仪部、石英晶体微天平部、控制和监测系统； 碎屑引入部，与控制和监测系统连接，用于碎屑引入部是装置的前端模块，负责将极紫外光源产生的碎屑和伴随的气体碎屑引入系统；此部分可通过法兰接口或漏阀部件将污染物导入； 真空差分部，与控制和监测系统连接，用于通过干泵与分子泵的配合，形成多级真空腔室，利用真空梯度来分离小分子颗粒物； 气体吹扫部，与控制和监测系统连接，用于利用高速气流冲击碎屑颗粒，改变碎屑的运动轨迹，将其驱离光源组件的表面； 箔阱过滤部，与控制和监测系统连接，用于通过物理吸附和惯性碰撞捕获碎屑，并有效清除较大颗粒的污染物； 原子氢部，与控制和监测系统连接，用于通过原子氢发生器产生高活性的氢原子，这些氢原子与碎屑中的反应性污染物发生化学反应，将其转化为易清除的气体； 延迟场离子能量分析仪部，与控制和监测系统连接，用于对清除前后碎屑中的离子型碎屑进行能量分析，以评估碎屑清除效果； 石英晶体微天平部，与控制和监测系统连接，用于通过监测石英晶体的共振频率变化，实时监控碎屑的沉积量，用于评估碎屑清除的效果； 控制和监测系统，与碎屑引入部、真空差分部、气体吹扫部、箔阱过滤部、原子氢部、延迟场离子能量分析仪部、石英晶体微天平部连接，用于通过中央控制系统对各个模块的运行状态进行监控和调节，并通过传感器采集数据实现闭环控制。

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