株式会社斯库林集团墨周武获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法以及基板处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542116B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410835480.7，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权基板处理方法以及基板处理系统是由墨周武设计研发完成，并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法以及基板处理系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种减少处理流体的消耗量且降低环境负担的同时提高产量的基板处理方法。本发明的基板处理方法以及基板处理系统在药液处理与冲洗处理之间执行预备有机溶剂供给处理。然后，在冲洗处理后执行使用了有机溶剂的置换处理以及堆液处理液膜形成处理，形成液膜。此时，有时在图案内残留冲洗液，但冲洗液的残留位置不为图案的内底面，成为在铅垂方向上由包含两种有机溶剂在内的液层＝IPA+DIW夹持的位置。构成残留液的冲洗液在这些液层之间相互扩散，成为无残留液。在该状态下，执行基于超临界状态的处理流体的干燥处理。
本发明授权基板处理方法以及基板处理系统在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，对具有形成有图案的图案形成面的基板进行处理，所述基板处理方法的特征在于，包括： a工序，在湿法处理装置中，按顺序执行向所述图案形成面供给药液而对所述基板进行的药液处理、向所述图案形成面供给有机溶剂的预备有机溶剂供给处理、向所述图案形成面供给冲洗液的冲洗处理、向所述图案形成面供给所述有机溶剂的置换处理、以及所述有机溶剂在所述图案形成面堆液的堆液处理； b工序，维持通过所述堆液处理而成为在所述图案形成面上堆有所述有机溶剂的堆液状态地将所述基板从所述湿法处理装置搬送至超临界处理装置；以及 c工序，在所述超临界处理装置中，通过使所述堆液状态的所述图案形成面与超临界状态的处理流体接触，使所述基板干燥。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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