应用材料公司高德姆·G·巴马纳哈雷获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于基板放置最佳化的方法、系统和计算机可读介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119604973B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380056621.9，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权用于基板放置最佳化的方法、系统和计算机可读介质是由高德姆·G·巴马纳哈雷;史蒂文·巴巴扬;迪帕克·斯里达兰;李海鹏设计研发完成，并于2023-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于基板放置最佳化的方法、系统和计算机可读介质在说明书摘要公布了：计算机可读介质包括指令，所述指令在由处理装置执行时使处理装置执行操作。所述操作包括在第一基板由基板支撑件支撑在第一放置位置的同时，在处理腔室中处理第一基板。第一基板在处理之后包括第一表面轮廓。所述操作还包括使用基板测量系统生成第一表面轮廓的第一表面轮廓图。所述操作还包括确定与第一基板上的多个位置对应的多个蚀刻率。所述操作还包括使用模型处理与多个蚀刻率相关联的数据，所述模型输出与一或多个估计放置位置相关联的一或多个估计表面轮廓。所述操作还包括基于一或多个估计放置位置确定基板在基板支撑件上的建议放置。
本发明授权用于基板放置最佳化的方法、系统和计算机可读介质在权利要求书中公布了：1.一种方法，包括以下步骤： 在第一基板由处理腔室的基板支撑件支撑的同时，根据配方在基板处理系统的所述处理腔室中处理所述第一基板，其中所述第一基板在所述处理后包括第一表面轮廓； 使用所述基板处理系统的基板测量系统来产生所述第一基板的所述第一表面轮廓的第一轮廓图； 使用模型来处理来自所述第一轮廓图的数据，其中所述模型输出所述第一基板相对于所述基板支撑件的一或多个元件的放置的第一估计基板放置值；和 基于所述第一估计基板放置值来确定基板在所述基板支撑件上的建议放置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励