兰州空间技术物理研究所成永军获国家专利权
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龙图腾网获悉兰州空间技术物理研究所申请的专利一种电容薄膜真空计调测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119688159B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411641067.3,技术领域涉及:G01L21/00;该发明授权一种电容薄膜真空计调测装置是由成永军;吴成耀;孙雯君;裴晓强;徐小冬;董猛;戎振华设计研发完成,并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电容薄膜真空计调测装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种电容薄膜真空计调测装置,可以在真空计完成封装前完成批量化的调试工作,调试效率高,成本可控。该装置中,主真空室抽气组件通过第一抽气连接管路连接主真空室,用于将主真空室压力维持在本底状态;测试室抽气组件通过第二抽气连接管路连接各测试室,用于将测试室压力维持在本底状态;配气组件通过供气管路连接各测试室,用于向测试室供气;测试室根据被测真空计的量程分为不同组,连接对应量程的压力传感器;每个测试室提供1个以上的真空计连接端;每个被测真空计的参考腔通过第一连接件连接波纹管,所有被测真空计对应的波纹管均接入所述主真空室;被测真空计的测量腔通过第二连接件连接对应量程的测试室。
本发明授权一种电容薄膜真空计调测装置在权利要求书中公布了:1.一种电容薄膜真空计调测装置,其特征在于,包括:主真空室抽气组件、测试室抽气组件、一个主真空室、多个测试室、配气组件和数据采集系统; 主真空室抽气组件通过第一抽气连接管路连接主真空室,用于将主真空室压力维持在本底状态; 测试室抽气组件通过第二抽气连接管路连接各测试室,用于将测试室压力维持在本底状态; 配气组件通过供气管路连接各测试室,用于向测试室供气; 测试室根据被测真空计的量程分为不同组,连接对应量程的压力传感器;每个测试室提供1个以上的真空计连接端; 每个被测真空计的参考腔通过第一连接件连接波纹管,所有被测真空计对应的波纹管均接入所述主真空室;被测真空计的测量腔通过第二连接件连接对应量程的测试室; 数据采集系统连接主真空室抽气组件、测试室抽气组件以及管路上的各种传感器和阀门;调测时,打开主真空室抽气组件和测试室抽气组件,将主真空室与测试室压力抽至本底状态;然后切断抽气管路,开启配气组件向各测试室供气,按照真空计量程范围升高测试室压力;所述测试室压力升高速率根据真空计量程进行设置,小量程对应慢速率,大量程对应快速率,使得在设定时间内完成量程内的压力升高;监测测试室所连接真空计测量腔的信号输出;当被测真空计达到量程上限时,输出至数据采集系统,测试真空计信息进行记录;当所有真空计给出信号或超出调试范围时停止进气; 所述第一连接件的一侧为标准法兰,另一侧为与被测真空计的参考腔匹配的参考腔连接法兰;标准法兰用于连接波纹管;参考腔连接法兰与被测真空计的参考腔相连,并通过连接面处的密封部件进行紧固密封;参考腔连接法兰处设有电接口,连通参考腔与外部环境,用于导出电信号。
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