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瑞声科技(新加坡)有限公司凯夫兰·雅尼克·皮埃尔获国家专利权

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龙图腾网获悉瑞声科技(新加坡)有限公司申请的专利一种MEMS元件及电声转换装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119729321B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311308311.X,技术领域涉及:H04R19/04;该发明授权一种MEMS元件及电声转换装置是由凯夫兰·雅尼克·皮埃尔;斯科特·莱尔·嘉吉设计研发完成,并于2023-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种MEMS元件及电声转换装置在说明书摘要公布了:提供了一种MEMS元件及电声转换装置,涉及传声器技术领域。MEMS元件包括间隔件、对电极、第一膜片和第二膜片。间隔件和对电极位于同一水平面,并在MEMS元件的横截面上交替排列。第一膜片和第二膜片分别设置在间隔件的相对侧并气密连接。第一膜片包括多个沿第一方向间隔设置的第一凸起,第二膜片包括多个沿第一方向间隔设置的第二凸起。第一凸起与第二凸起一一对应、且相互对齐形成腔体,对电极悬浮设置在腔体内。第一凸起包括第一前壁和第一后壁,第二凸起包括第二前壁和第二后壁,至少部分第一前壁、第一后壁、第二前壁或第二后壁为子波纹状结构。MEMS元件能减小高压冲击下施加在膜片上的最大应力,从而提高装置的机械坚固性。

本发明授权一种MEMS元件及电声转换装置在权利要求书中公布了:1.一种微机电系统MEMS元件,其特征在于,包括: 沿第一方向设置的多个间隔件, 沿所述第一方向设置的多个对电极, 多个狭槽,每一狭槽形成在相邻的对电极和间隔件之间; 第一膜片,包括多个沿所述第一方向间隔设置的第一凸起; 第二膜片,包括多个沿所述第一方向间隔设置的第二凸起,所述第二凸起朝远离所述第一凸起的方向延伸; 多个间隔件和多个对电极位于同一水平面,并在MEMS元件的横截面上交替排列; 所述第一膜片和所述第二膜片分别设置在所述间隔件的相对侧并气密连接; 所述多个第一凸起与所述多个第二凸起一一对应、且相对应的第一凸起与第二凸起相互对齐形成腔体,所述对电极悬浮设置在所述腔体内; 两个相邻第一凸起之间的部分为第一部分,两个相邻第二凸起之间的部分为第二部分,相对应的第一部分和第二部分对齐,所述间隔件夹设在所述第一部分和所述第二部分之间; 所述第一凸起包括沿所述第一方向相对设置的第一前壁和第一后壁,所述第二凸起包括沿所述第一方向相对设置的第二前壁和第二后壁; 所述第一膜片和所述第二膜片的形状和大小相同,呈圆形,还各自包括多个辐杆,所述辐杆将所述第一膜片和所述第二膜片沿圆周方向分成若干部分;所述第一方向为径向或横向; 与连接于所述第一膜片的所有间隔件的所述第一部分相邻的所述第一前壁和所述第一后壁为子波纹状结构,以及,与连接于所述第二膜片的所有间隔件的所述第二部分相邻的所述第二前壁和所述第二后壁为子波纹状结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人瑞声科技(新加坡)有限公司,其通讯地址为:新加坡淡滨尼工业湾22号3楼1室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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