苏州精材半导体科技有限公司;北京精材半导体科技有限公司;北京精测半导体装备有限公司吴松获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州精材半导体科技有限公司;北京精材半导体科技有限公司;北京精测半导体装备有限公司申请的专利一种过滤器及化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223683228U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423275901.X，技术领域涉及：B01D46/24；该实用新型一种过滤器及化学气相沉积设备是由吴松设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种过滤器及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种过滤器及化学气相沉积设备，包括本体和过滤芯，所述本体内部为中空腔室，所述过滤芯设置在所述中空腔室内，将所述本体内部分隔成未过滤区和已过滤区；所述本体上设置有进气口和出气口，所述进气口与所述未过滤区连通，所述出气口与所述已过滤区连通；还包括冷却装置，所述冷却装置设置在所述本体的外围，对所述本体进行降温。滤器通过其外围精心配置的冷却装置，能够持续有效地对本体进行降温处理。这一设计不仅显著促进了尾气中副产物的冷凝与收集，确保它们被高效地截留在过滤器内部，而且有效防止了副产物进一步进入后续处理装置，从而确保了化学气相沉积过程的顺畅进行。
本实用新型一种过滤器及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种过滤器，其特征在于，包括本体1和过滤芯2，所述本体1内部为中空腔室，所述过滤芯2设置在所述中空腔室内，将所述本体1内部分隔成未过滤区101和已过滤区102；所述本体1上设置有进气口和出气口，所述进气口与所述未过滤区101连通，所述出气口与所述已过滤区102连通；还包括冷却装置3，所述冷却装置3设置在所述本体1的外围，对所述本体1进行降温。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州精材半导体科技有限公司;北京精材半导体科技有限公司;北京精测半导体装备有限公司，其通讯地址为：215127 江苏省苏州市工业园区启明路8号综合保税区B区H厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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