颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司段海舰获国家专利权
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龙图腾网获悉颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司申请的专利晶圆干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223683880U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422989267.X，技术领域涉及：B05D3/02；该实用新型晶圆干燥装置是由段海舰设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆干燥装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆干燥装置，其包括用于承载晶圆的承载平台；位于所述承载平台内的金属发热件；磁铁平台，所述磁铁平台与所述承载平台沿高度方向间隔设置，所述磁铁平台内设置有若干永磁铁，相邻两个所述永磁铁的磁极相反；用于带动所述承载平台或所述磁铁平台转动的第一转轴。本实用新型通过所述第一转轴带动所述承载平台或所述磁铁平台转动，使得所述金属发热件产生热能，并将热量传递至所述承载平台上的晶圆，从而加快晶圆上防护液的干结，提高产能，避免防护液异常残留。
本实用新型晶圆干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆干燥装置，其特征在于，包括： 用于承载晶圆的承载平台100； 位于所述承载平台100内的金属发热件200； 磁铁平台300，所述磁铁平台300与所述承载平台100沿高度方向间隔设置，所述磁铁平台300内设置有若干永磁铁301，相邻两个所述永磁铁301的磁极相反； 用于带动所述承载平台100或所述磁铁平台300转动的第一转轴400。
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