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矽电半导体设备(深圳)股份有限公司胡阳辉获国家专利权

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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利不良晶粒剔除设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223683994U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423161821.1,技术领域涉及:B07C5/02;该实用新型不良晶粒剔除设备是由胡阳辉;易仲;李长江设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

不良晶粒剔除设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种不良晶粒剔除设备,包括承载平台和晶粒剔除机构,承载平台用于放置晶圆,承载平台设于晶粒剔除机构的第一方向上,晶粒剔除机构包括基座、第一胶带转轮组件、第二胶带转轮组件及顶针组件,第一胶带转轮组件和第二胶带转轮组件沿第二方向间隔且可转动地设于基座上,顶针组件可移动地设于基座且位于第一胶带转轮组件和第二胶带转轮组件之间,顶针组件能够沿第一方向移动以靠近承载平台;第一胶带转轮组件和第二胶带转轮组件用于传送胶带,顶针组件沿第一方向移动以将胶带压至位于承载平台的晶圆上,第一方向垂直于第二方向。本申请提供了一种不良晶粒剔除设备,可以根据前道工序的检测结果自动剔除不良晶粒,能够提高剔除良率。

本实用新型不良晶粒剔除设备在权利要求书中公布了:1.一种不良晶粒剔除设备,其特征在于,包括承载平台和晶粒剔除机构,所述承载平台用于放置晶圆,所述承载平台设于所述晶粒剔除机构的第一方向上,所述晶粒剔除机构包括基座、第一胶带转轮组件、第二胶带转轮组件及顶针组件,所述第一胶带转轮组件和所述第二胶带转轮组件沿第二方向间隔且可转动地设于所述基座上,所述顶针组件可移动地设于所述基座且位于所述第一胶带转轮组件和所述第二胶带转轮组件之间,所述顶针组件能够沿所述第一方向移动以靠近所述承载平台;所述第一胶带转轮组件和所述第二胶带转轮组件用于传送胶带,所述顶针组件沿所述第一方向移动以将所述胶带压至位于所述承载平台的所述晶圆上,所述第一方向垂直于所述第二方向。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人矽电半导体设备(深圳)股份有限公司,其通讯地址为:518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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