傲迪特半导体(南京)有限公司茆宏获国家专利权
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龙图腾网获悉傲迪特半导体(南京)有限公司申请的专利一种半导体清洗用喷淋装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223684067U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423182513.7,技术领域涉及:B08B3/02;该实用新型一种半导体清洗用喷淋装置是由茆宏;宁江斌;郁言威;高兴;陆嘉黎;李民;王耽耽设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体清洗用喷淋装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体生产加工技术领域,尤其涉及一种半导体清洗用喷淋装置,包括有装置主体、清洗仓、置物网格板、水箱、输水组件、丝杆、驱动组件、喷头、喷淋组件、废液斗和废液组件;装置主体的内侧设置有清洗仓,清洗仓的内侧设置有置物网格板,装置主体的顶部设置有水箱,水箱的一侧设置有输水组件,清洗仓的内侧顶部设置有丝杆,丝杆的外侧设置有驱动组件,丝杆的底面设置有喷头,喷头一侧设置有喷淋组件,置物网格板的下方设置有废液斗,废液斗的底面设置有废液组件;本实用新型通过淋液预处理的方式,在喷射冲洗半导体表面前后,利用清洗液淋湿半导体,使清洗液与半导体化学物质充分反应,保障装置清洗效果,从而有效增强装置实用价值。
本实用新型一种半导体清洗用喷淋装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体清洗用喷淋装置,包括有装置主体1、支撑架101、清洗仓2、置物网格板201、开合组件;其特征在于:还包括有水箱3、输水组件、丝杆4、驱动组件、喷头5、喷淋组件、废液斗6和废液组件;装置主体1的底面设置有支撑架101,装置主体1的内侧设置有清洗仓2,清洗仓2的内侧设置有置物网格板201,清洗仓2的一侧设置有开合组件,装置主体1的顶部设置有水箱3,水箱3的一侧设置有输水组件,清洗仓2的内侧顶部设置有丝杆4,丝杆4的外侧设置有驱动组件,丝杆4的底面设置有喷头5,喷头5设置有多组,喷头5的一侧设置有喷淋组件,置物网格板201的下方设置有废液斗6,废液斗6的底面设置有废液组件。
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