江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利一种承载台主轴组件及晶圆减薄设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223685021U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423322481.6，技术领域涉及：B24B7/22；该实用新型一种承载台主轴组件及晶圆减薄设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种承载台主轴组件及晶圆减薄设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种承载台主轴组件及晶圆减薄设备。该承载台主轴组件包括承载台主轴、轴承、轴承固定组件以及冷却通道。其中，轴承的内圈套设于承载台主轴上；轴承固定组件包括轴承固定环，轴承固定环与轴承的外圈固定连接，轴承固定组件用于与分度载台连接；以及，冷却通道包括设置于轴承固定环上的多个通道段，多个通道段沿承载台主轴的周向依次排列并连通，冷却通道用于流通冷却液以降低轴承的温度。该承载台主轴组件能够及时对轴承进行散热，使得轴承的温度能够控制在一定的范围内，有效避免了承载台主轴在工作中出现受热变形的情况，利于对晶圆磨削质量的提高。
本实用新型一种承载台主轴组件及晶圆减薄设备在权利要求书中公布了：1.一种承载台主轴组件，其特征在于，包括： 承载台主轴； 轴承，所述轴承的内圈套设于所述承载台主轴上； 轴承固定组件，所述轴承固定组件包括轴承固定环，所述轴承固定环与所述轴承的外圈固定连接，所述轴承固定组件用于与分度载台连接；以及， 冷却通道，所述冷却通道包括设置于所述轴承固定环上的多个通道段，多个所述通道段沿所述承载台主轴的周向依次排列并连通，所述冷却通道用于流通冷却液以降低所述轴承的温度。
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