山东加睿晶欣新材料股份有限公司吕洪获国家专利权
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龙图腾网获悉山东加睿晶欣新材料股份有限公司申请的专利一种高精度大尺寸氮化镓单晶衬底的加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223685061U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520051360.8，技术领域涉及：B24B19/22；该实用新型一种高精度大尺寸氮化镓单晶衬底的加工设备是由吕洪;龚圣智;李梅;曹景旺设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高精度大尺寸氮化镓单晶衬底的加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及氮化镓单晶衬底加工技术领域，尤其涉及一种高精度大尺寸氮化镓单晶衬底的加工设备，包括：底座，所述底座上侧滑动连接有升降台，所述底座上侧滑动连接有摩砂盘；所述底座上安装有固定结构，所述固定结构包括固定安装在底座下侧的双轴电机。本实用新型通过双轴电机带动固定结构对氮化镓单晶进行固定，避免在加工过程中手拿加工导致的破碎情况出现，不再需要手动工作也大大减小了工作人员的工作量，还通过双轴电机带动清洁结构对工作台进行清理，解决了工作台上侧空隙较小难以清理的问题，免除了人工清洁的步骤，减少了人力的消耗。
本实用新型一种高精度大尺寸氮化镓单晶衬底的加工设备在权利要求书中公布了：1.一种高精度大尺寸氮化镓单晶衬底的加工设备，包括底座1，其特征在于，所述底座1上侧滑动连接有升降台3，所述底座1上侧滑动连接有摩砂盘4； 所述底座1上安装有固定结构，所述固定结构包括固定安装在底座1下侧的双轴电机5，所述双轴电机5的输出轴固定安装有驱动轴一6，所述底座1侧壁转动连接有双向螺杆7，所述双向螺杆7与驱动轴一6外侧均固定套接由锥齿轮一8，且所述锥齿轮一8之间相互啮合，所述双向螺杆7外侧螺纹连接有上滑板9和下滑板10，所述上滑板9侧壁固定连接有固定板，所述固定板的侧壁固定连接有控制电机30，所述控制电机30的输出端固定连接有转轴11，所述转轴11外侧固定连接有夹板一12，所述夹板一12侧壁滑动连接有多个压块13，多个所述压块13与夹板一12固定连接有弹簧14，所述下滑板10与升降台3固定连接，所述升降台3侧壁转动连接有夹板二15，所述夹板一12与夹板二15相匹配。
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