江苏矽旺电子材料有限公司王金海获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏矽旺电子材料有限公司申请的专利一种制造高光学均匀性合成石英玻璃的沉积炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223688247U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520106972.2，技术领域涉及：C03C17/245；该实用新型一种制造高光学均匀性合成石英玻璃的沉积炉是由王金海;张松设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种制造高光学均匀性合成石英玻璃的沉积炉在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种制造高光学均匀性合成石英玻璃的沉积炉，涉及沉积炉技术领域。本实用新型包括沉积炉，所述沉积炉的底部固定安装有底撑机构，所述底撑机构的内壁设置有驱动装置。本实用新型通过将驱动装置置于底撑机构上，当汽化后的二氧化硅气体进入沉积炉内部后，通过驱动装置驱动运转装置进行运转为插接座提供运转驱动力，以使得插接座能够带动顶部的沉积槽进行运转，配合底部跟随旋转的导流组件对气体进行导流均化，使其均匀的流动在沉积槽的周围与燃烧池外侧进行接触，且配合排气组件对熔融后的多余气体进行吸附以使得剩余颗粒被阻隔在排气组件的内壁以防止更多的微小颗粒聚积在一起形成大颗粒落在石英玻璃上造成缺陷。
本实用新型一种制造高光学均匀性合成石英玻璃的沉积炉在权利要求书中公布了：1.一种制造高光学均匀性合成石英玻璃的沉积炉，包括沉积炉1，其特征在于：所述沉积炉1的底部固定安装有底撑机构2，所述底撑机构2的内壁设置有驱动装置3，所述驱动装置3的一侧啮合有运转装置4，所述运转装置4的内部插接有插接座5，所述插接座5的顶部固定安装有沉积槽6，所述沉积槽6的底部固定连接有导流组件7，所述沉积炉1的顶部设置有排气组件8，所述沉积炉1的两侧面均固定安装有进气口9，所述沉积炉1的内部设置有燃烧池10。
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