江苏润阳光伏科技有限公司秦成获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏润阳光伏科技有限公司申请的专利多晶硅薄膜制备设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223688419U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423247911.2，技术领域涉及：C23C14/14；该实用新型多晶硅薄膜制备设备是由秦成设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本多晶硅薄膜制备设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种多晶硅薄膜制备设备，其包括多个高温机台，包括隔热柜体、设于所述隔热柜体内的净化台、设于净化台一侧的炉管及设于炉管外周的隔热罩；供气组件，通过管道与所述炉管连通，用于向所述炉管提供反应气体；排气组件，与所述炉管连接，用于将所述炉管产生的废气进行排出处理；排热组件，所述排热组件与所述隔热柜体连通，用于将所述隔热柜体内的热量进行排出；控制系统，与所述高温机台、供气组件、排气组件及所述排热组件连接，以控制所述高温机台、供气组件、排气组件及所述排热组件。如此设置，有效提高了多晶硅薄膜制备设备的尾气处理能力和管道防堵性能。
本实用新型多晶硅薄膜制备设备在权利要求书中公布了：1.一种多晶硅薄膜制备设备，其特征在于：包括 多个高温机台，包括隔热柜体、设于所述隔热柜体内的净化台、设于净化台一侧的炉管及设于炉管外周的隔热罩； 供气组件，通过管道与所述炉管连通，用于向所述炉管提供反应气体； 排气组件，与所述炉管连接，用于将所述炉管产生的废气进行排出处理，所述排气组件包括通过管道连接的废气真空机、废气管、氮气管、燃烧桶及风机，所述废气管与所述氮气管平行设置，所述废气管一端与废气真空机连通，另一端设有阀；所述氮气管一端与氮气源连接，另一端与燃烧桶连接，废气管与氮气管之间通过支管连接； 排热组件，所述排热组件与所述隔热柜体连通，用于将所述隔热柜体内的热量进行排出； 控制系统，与所述高温机台、供气组件、排气组件及所述排热组件连接，以控制所述高温机台、供气组件、排气组件及所述排热组件。
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