辽宁纳太科技有限公司程明望获国家专利权
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龙图腾网获悉辽宁纳太科技有限公司申请的专利一种真空镀膜设备侧装靶组装机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223688424U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520160085.3，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种真空镀膜设备侧装靶组装机构是由程明望;程勇;张勇设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜设备侧装靶组装机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了：一种真空镀膜设备侧装靶组装机构，包括镀膜仓以及侧装扣架；所述镀膜仓用于支撑整个机构元件，所述侧装扣架安装在镀膜仓侧方，所述侧装扣架内设有：固定法兰、对接法兰、靶材、螺栓以及靶材辅助安装组件，本案涉及真空镀膜技术领域，其所具有的有益效果为：本案可实现在需要进行靶材更换时可通过将侧装扣架开启，使人员可在侧装扣架上进行更换不用进入仓内，随后通过靶材辅助安装组件，可高效快速的完成靶材的装卸更换工作。
本实用新型一种真空镀膜设备侧装靶组装机构在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜设备侧装靶组装机构，包括镀膜仓以及侧装扣架；所述镀膜仓用于支撑整个机构元件，其特征在于，所述侧装扣架安装在镀膜仓侧方，所述侧装扣架内设有：固定法兰、对接法兰、靶材、螺栓以及靶材辅助安装组件； 所述固定法兰安装在侧装扣架上，所述对接法兰安装在靶材顶部，所述固定法兰与对接法兰通过螺栓相连接； 其中，靶材辅助安装组件，包括：支撑扣架、外扣架、转轴、铰座、固定架、卡槽、卡环、锁孔、第一卡扣、压板、卡扣槽、第二卡扣以及弹簧； 所述支撑扣架安装在侧装扣架壁面上，所述铰座安装在外扣架上，所述外扣架通过铰座与转轴安装在支撑扣架上，所述固定架安装在外扣架上，所述卡槽开设在支撑扣架与外扣架内侧，所述卡环安装在靶材上，所述锁孔开设在固定架上，所述第一卡扣安装在锁孔内，所述卡扣槽开设在支撑扣架上，所述第二卡扣安装在卡扣槽内，所述弹簧安装在卡扣槽内并抵在第二卡扣上。
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