捷泰新能源科技(苏州)有限公司年梦楠获国家专利权
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龙图腾网获悉捷泰新能源科技(苏州)有限公司申请的专利喷淋板和原子层沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223688446U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520051919.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型喷淋板和原子层沉积设备是由年梦楠设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷淋板和原子层沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种喷淋板和原子层沉积设备，包括：外板，设有第一外孔和第二外孔；与外板分体设置且可拆卸连接的内板，沿第一方向贯穿设有第一内孔和第二内孔；内板与外板相连时，内板与外板沿第一方向面向彼此的表面贴合，第一外孔与第一内孔拼接形成用于喷淋前驱体的第一喷淋孔，第二外孔和第二内孔拼接形成喷淋反应气体的第二喷淋孔。当沉积物沉积过多进入喷淋孔的较深位置时，由于内板和外板分体设置且可拆卸连接，将内板与外板拆卸，采用工具将沿第一方向贯穿设于内板上的第一内孔和第二内孔内的沉积物捅出即可，相对于现有技术中喷淋板外单层板结构的方式，易于将沉积物从喷淋孔中清出，不易造成喷淋孔的堵塞。
本实用新型喷淋板和原子层沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种喷淋板，其特征在于，包括： 外板10，设有第一外孔11和第二外孔12； 与所述外板10分体设置且可拆卸连接的内板20，沿第一方向X贯穿设有第一内孔21和第二内孔22； 所述内板20与所述外板10相连时，所述内板20与所述外板10沿所述第一方向X面向彼此的表面贴合，所述第一外孔11与所述第一内孔21拼接形成用于喷淋前驱体的第一喷淋孔30，所述第二外孔12和所述第二内孔22拼接形成用于喷淋反应气体的第二喷淋孔40。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人捷泰新能源科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区东富路35号1号楼3层3206室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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