拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司张晗获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利对中工装、反应腔及薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223688449U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423121621.3，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型对中工装、反应腔及薄膜沉积设备是由张晗设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本对中工装、反应腔及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种对中工装、反应腔及薄膜沉积设备，该对中工装包括：套筒；第一锁紧机构，包括第一同心定位组件，第一同心定位组件设于套筒的一端；第二锁紧机构，包括第二同心定位组件，第二同心定位组件设于套筒的另一端；芯轴，穿设于套筒且与第一同心定位组件和第二同心定位组件同心设置；锁紧套，套设于芯轴且与其同心；芯轴沿套筒轴向移动带动第一同心定位组件沿芯轴的径向朝外移动以进行一级同心定位，锁紧套沿芯轴轴向移动带动第二同心定位组件沿芯轴的径向朝外移动以进行二级同心定位。通过对中工装对腔体和上盖板的进气管道进行同心定位，保证两腔的进气结构对称且保持一致，提高两腔工艺表现的一致性。
本实用新型对中工装、反应腔及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种对中工装，其特征在于，包括： 套筒； 第一锁紧机构，包括第一同心定位组件，所述第一同心定位组件设于所述套筒的一端； 第二锁紧机构，包括第二同心定位组件，所述第二同心定位组件设于所述套筒的另一端； 芯轴，穿设于所述套筒且与所述第一同心定位组件和所述第二同心定位组件同心设置； 锁紧套，套设于所述芯轴且与其同心； 其中，所述芯轴沿所述套筒轴向移动带动所述第一同心定位组件沿所述芯轴的径向朝外移动以进行一级同心定位，以及，所述锁紧套沿所述芯轴轴向移动带动所述第二同心定位组件沿所述芯轴的径向朝外移动以进行二级同心定位。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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