拉普拉斯新能源科技股份有限公司赵国建获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利反应炉及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223688451U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520174044.X，技术领域涉及：C23C16/507；该实用新型反应炉及镀膜设备是由赵国建;朱太荣;张武设计研发完成，并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本反应炉及镀膜设备在说明书摘要公布了：本公开涉及半导体和光伏技术领域，尤其涉及一种反应炉及镀膜设备，解决了相关技术中炉腔内对片材周围气体电离的工作和对片材进行加热的工作无法同时进行的问题。该反应炉包括炉体、射频组件、加热组件、第一电源组件和第二电源组件：第一电源组件与射频组件电连接，第一电源组件被配置为向射频组件提供射频电源；第二电源组件与加热组件电连接，第二电源组件被配置为向加热组件提供加热电源，加热电源包括直流电源，或者，加热电源包括经变压器转换的交流电源；或者，至少加热组件的外表面覆有隔绝等离子体的绝缘层。本公开提供的反应炉及镀膜设备，能够避免片材周围气体电离产生的等离子体对片材的加热产生干扰。
本实用新型反应炉及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种反应炉，其特征在于，被配置为对片材镀膜，所述片材被承载于片材承载机构，所述片材承载机构包括多个沿第一方向间隔布置的承载件，每一个所述承载件被配置为承载至少一所述片材，所述反应炉包括： 炉体，具有炉腔，所述片材承载机构能够被放置于所述炉腔； 射频组件，分别与多个所述承载件导电连接； 加热组件，分别与所述承载件绝缘连接，所述加热组件被配置为对所述承载件上所承载的所述片材加热； 第一电源组件，与所述射频组件电连接，所述第一电源组件被配置为向所述射频组件提供射频电源，所述射频组件将所述第一电源组件提供的所述射频电源传导至多个所述承载件，以使每相邻的两个所述承载件具有相反的极性； 第二电源组件，与所述加热组件电连接，所述第二电源组件被配置为向所述加热组件提供加热电源，所述加热电源包括直流电源，或者，所述加热电源包括经变压器转换的交流电源；或者，至少所述加热组件的外表面覆有隔绝等离子体的绝缘层。
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