常州捷佳创精密机械有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网获悉常州捷佳创精密机械有限公司申请的专利组合式镀膜系统及热丝工艺腔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223688452U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520049686.7，技术领域涉及：C23C16/54；该实用新型组合式镀膜系统及热丝工艺腔是由左国军;朱海剑;侯岳明;杨虎设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本组合式镀膜系统及热丝工艺腔在说明书摘要公布了：本实用新型属于太阳能电池生产制造技术领域，尤其涉及一种组合式镀膜系统及热丝工艺腔，包括：隔离腔、PECVD工艺腔，以及若干组预热腔和热丝工艺腔；同一组中的预热腔和热丝工艺腔连接；下一组中的预热腔连接上一组中的热丝工艺腔；所述隔离腔连接最后一个热丝工艺腔，并且所述隔离腔与所述PECVD工艺腔连接；所述隔离腔设置在PECVD工艺腔和最后一个热丝工艺腔之间，进而实现了使硅片在热丝工艺腔完成非晶硅本征层镀膜，在PECVD工艺腔中完成微晶硅掺杂层镀膜，节省成本、保证镀膜质量的同时还提高了整体镀膜沉积速率。
本实用新型组合式镀膜系统及热丝工艺腔在权利要求书中公布了：1.一种组合式镀膜系统，其特征在于，包括： 隔离腔3、PECVD工艺腔2，以及若干组预热腔7和热丝工艺腔1； 同一组中的预热腔7和热丝工艺腔1连接； 下一组中的预热腔7连接上一组中的热丝工艺腔1； 所述隔离腔3连接最后一个热丝工艺腔1，并且所述隔离腔3与所述PECVD工艺腔2连接； 所述隔离腔3设置在PECVD工艺腔2和最后一个热丝工艺腔1之间； 硅片首先在热丝工艺腔1完成非晶硅本征层镀膜，然后在PECVD工艺腔2中完成微晶硅掺杂层镀膜。
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