无锡奥特维科技股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡奥特维科技股份有限公司申请的专利一种硅片多缺陷用检测光源机构、检测装置及检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223690959U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520284135.9,技术领域涉及:F21V19/00;该实用新型一种硅片多缺陷用检测光源机构、检测装置及检测设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片多缺陷用检测光源机构、检测装置及检测设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种硅片多缺陷用检测光源机构、检测装置及检测设备,其包括箱体、第一照明组件和第二照明组件;箱体的一侧设置有开口,箱体上开设有透光孔;第一照明组件包括第一照明部和第一匀光部,第一照明部包括至少两个第一光源,第一匀光部覆盖在箱体的开口处;第二照明组件包括第二照明部和第二匀光部,第二照明部包括n个与第一光源波长不同的第二光源,第二匀光部包括n个一一对应的覆盖在n个第二光源的出光端的第二匀光板。本申请的硅片多缺陷用检测光源机构通过将两种光源的光路进行整合,可以使两种光源之间互不干扰,两种光源可以同时亮,实现了在单个检测工位上对硅片的多种缺陷的检测,从而减少了检测工位,提升了检测效率。
本实用新型一种硅片多缺陷用检测光源机构、检测装置及检测设备在权利要求书中公布了:1.一种硅片多缺陷用检测光源机构,其特征在于,所述硅片多缺陷用检测光源机构包括: 箱体,所述箱体的一侧设置有开口,所述箱体上与所述开口相对的箱壁开设有沿第一方向延伸的透光孔; 第一照明组件,所述第一照明组件包括第一照明部和第一匀光部;所述第一照明部包括至少两个第一光源,各所述第一光源均为沿所述第一方向布置的线光源;各所述第一光源均安装在所述箱体内部;所述第一匀光部覆盖在所述箱体的开口处,使各所述第一光源的光在经过所述第一匀光部的匀光处理后,能够均匀照射在目标照射平面; 第二照明组件,所述第二照明组件包括第二照明部和第二匀光部;所述第二照明部包括n个第二光源,n≥1;各所述第二光源均为沿所述第一方向布置的线光源;所述第二光源安装在所述箱体内部或所述箱体外部;所述第二匀光部包括n个第二匀光板,n个所述第二匀光板一一对应的覆盖在n个所述第二光源的出光端;各所述第二光源的出光方向与目标照射平面的法线方向形成不为零的夹角,并在目标照射平面上形成一条沿所述第一方向延伸的光带; 所述第一光源和所述第二光源的波长不同,所述第一光源用于为硅片的脏污检测提供照明,所述第二光源用于为硅片的孔洞、硅落检测提供照明。
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