硅密(常州)电子设备有限公司卡尔·罗伯特·休斯特获国家专利权
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龙图腾网获悉硅密(常州)电子设备有限公司申请的专利一种兼容多尺寸晶圆的甩干机回转腔体获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223691454U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423317664.9，技术领域涉及：F26B11/18；该实用新型一种兼容多尺寸晶圆的甩干机回转腔体是由卡尔·罗伯特·休斯特;刘青设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种兼容多尺寸晶圆的甩干机回转腔体在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种兼容多尺寸晶圆的甩干机回转腔体，包括支撑台面，支撑台面上方安装有回转腔体组件，支撑台面下方安装有驱动回转腔体组件旋转的驱动组件；所述回转腔体组件包括驱动座以及驱动座上安装的回转腔体；回转腔体包括上支撑环和下支撑盘，上支撑环和下支撑盘之间形成的安装空间，安装空间上均布有四个片篮承载工位，其中一相对设置的片篮承载工位上均安装有第一片篮承载盒，另一相对设置的片篮承载工位上均安装有第二片篮承载盒；集成在设备内部；这将不存在搬运时沾染颗粒影响硅片质量；采用不同的片蓝承载盒，能兼容多尺寸的晶圆。
本实用新型一种兼容多尺寸晶圆的甩干机回转腔体在权利要求书中公布了：1.一种兼容多尺寸晶圆的甩干机回转腔体，其特征在于，包括支撑台面，支撑台面上方安装有回转腔体组件，支撑台面下方安装有驱动回转腔体组件旋转的驱动组件；所述回转腔体组件包括驱动座以及驱动座上安装的回转腔体；回转腔体包括上支撑环和下支撑盘，上支撑环和下支撑盘之间形成的安装空间，安装空间上均布有四个片篮承载工位，其中一相对设置的片篮承载工位上均安装有第一片篮承载盒，另一相对设置的片篮承载工位上均安装有第二片篮承载盒。
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