无锡富创得智能科技有限公司冯跃跃获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡富创得智能科技有限公司申请的专利用于晶圆盒的双工位装载开盒器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223693074U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422829370.8,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型用于晶圆盒的双工位装载开盒器是由冯跃跃;周锐;沈一;郝铭芯设计研发完成,并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆盒的双工位装载开盒器在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,具体为用于晶圆盒的双工位装载开盒器,包括架体组件,所述架体组件安装有至少两个开盒工位,每个所述开盒工位均包括安装在架体组件上用于装在晶圆盒的装载组件,以及安装在架体组件上,用于打开盒盖的升降开盒组件;所述架体组件包括背板,所述升降开盒组件安装在背板上,并且升降开盒组件外侧罩设有检修箱板;所述装载组件的下端面与检修箱板上端连接;本晶圆盒的双工位装载开盒器,整体结构精简,多工位一体式设计,节约整体设备空间,纵置的升降开盒开盖动作,为后续晶圆以及晶圆盒的操作预留更多空间;以及多工位设计,减少了备料以及安装时间。
本实用新型用于晶圆盒的双工位装载开盒器在权利要求书中公布了:1.用于晶圆盒的双工位装载开盒器,其特征在于,包括架体组件1,所述架体组件1安装有至少两个开盒工位,每个所述开盒工位均包括安装在架体组件1上用于装载晶圆盒5的装载组件4,以及安装在架体组件1上,用于打开盒盖51的升降开盒组件3; 所述架体组件1包括背板12,所述升降开盒组件3安装在背板12上,并且升降开盒组件3外侧罩设有检修箱板11;所述装载组件4的下端面与检修箱板11上端连接; 开盒动作下,装载组件4承载并锁定盒底52,升降开盒组件3带动盒盖51实现升降动作。
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