江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利晶圆解胶装置、撕膜设备及减薄撕膜一体系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223693083U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423321250.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆解胶装置、撕膜设备及减薄撕膜一体系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆解胶装置、撕膜设备及减薄撕膜一体系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆解胶装置、撕膜设备及减薄撕膜一体系统，本申请实施例公开的晶圆解胶装置包括：支架；传输组件；吸附组件，所述吸附组件设置于所述传输组件，所述吸附组件用于吸附表面贴附有保护膜的晶圆；第一驱动组件，所述第一驱动组件与所述传输组件连接，所述第一驱动组件能够带动所述传输组件沿所述第一方向移动；解胶组件；第二驱动组件，所述第二驱动组件与所述解胶组件连接，所述第二驱动组件能够带动所述解胶组件沿所述第一方向与所述吸附组件同步移动，所述解胶组件用于在所述解胶组件与所述吸附组件同步移动时向所述晶圆贴附有所述保护膜的表面照射解胶光。
本实用新型晶圆解胶装置、撕膜设备及减薄撕膜一体系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆解胶装置，其特征在于，包括： 支架； 传输组件，所述传输组件沿第一方向滑动连接于所述支架； 吸附组件，所述吸附组件设置于所述传输组件，所述吸附组件用于吸附表面贴附有保护膜的晶圆； 第一驱动组件，所述第一驱动组件与所述传输组件连接，所述第一驱动组件能够带动所述传输组件沿所述第一方向移动； 解胶组件，所述解胶组件沿所述第一方向滑动连接于所述支架； 第二驱动组件，所述第二驱动组件与所述解胶组件连接，所述第二驱动组件能够带动所述解胶组件沿所述第一方向与所述吸附组件同步移动，所述解胶组件用于在所述解胶组件与所述吸附组件同步移动时向所述晶圆贴附有所述保护膜的表面照射解胶光。
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