浙江大族富创得科技有限公司杨松获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大族富创得科技有限公司申请的专利一种晶圆装载与检测集成装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223693088U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422826427.9，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种晶圆装载与检测集成装置是由杨松;刘福诚;刘昌胜设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆装载与检测集成装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆装载与检测集成装置，包括底架和背板，其特征在于，所述底架内置安装腔体，安装腔体中设置有承载并识别晶圆盒的读盒载台以及对晶圆盒与晶圆进行的检测的检测框架机构；所述检测框架机构罩设在读盒载台外围，并且检测框架机构在升降组件驱动下，在背板的前端面进行升降动作；本实用新型，整体结构精简，将晶圆盒的承载功能，与晶圆盒开盖后对晶圆搬运结果的质量把控功能进行整合；整体缩小设备体积，兼顾晶圆在存片、取片、开盖、关盖过程中的对晶圆检测需求，减少晶圆在制造与加工过程中多次检测作业工序，减少晶圆的污染、弯折、以及存放突出造成后续更大的制造质量问题。
本实用新型一种晶圆装载与检测集成装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆装载与检测集成装置，包括底架1和背板2，其特征在于，所述底架1内置安装腔体，安装腔体中设置有承载并识别晶圆盒的读盒载台3以及对晶圆盒与晶圆进行的检测的检测框架机构4；所述检测框架机构4罩设在读盒载台3外围，并且检测框架机构4在升降组件5驱动下，在背板2的前端面进行升降动作；所述检测框架机构4包括引导晶圆盒的座缘部41、承载座缘部41的风箱侧板42以及带动风箱侧板42和座缘部41运动的升降背板43，所述升降背板43连接升降组件5；所述风箱侧板42内壁设有晶圆盒状态传感器47和晶圆突出传感器48，所述座缘部41内部设有抓盖机构44； 装载检测时，读盒载台3承载并固定晶圆盒，由升降组件5驱动升降背板43升降，带动抓盖机构44实现晶圆盒的开盒以抓取，晶圆盒状态传感器47和晶圆突出传感器48实现检测作业。
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