久智光电子材料科技有限公司张鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉久智光电子材料科技有限公司申请的专利防止晶圆掉落的石英舟获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223693090U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423276912.X，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型防止晶圆掉落的石英舟是由张鹏;谷巨明;胡海雨;高朝亮;陈春明;李学彪设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本防止晶圆掉落的石英舟在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种防止晶圆掉落的石英舟，属于石英制品加工技术领域，包括石英舟本体和限位组件，石英舟本体包括架体、下槽棒组和上槽棒组；架体具有两个平行的端板，两个端板之间形成容纳空间，下槽棒组和上槽棒组均位于容纳空间内用于限位晶圆；上槽棒组包括两个对称设置的上槽棒，两个上槽棒之间为容许晶圆插入的端口区；限位组件包括两个对称设置的限位槽棒，两个限位槽棒位于端口区的上侧，且两个限位槽棒的间距小于或等于端口区的宽度，用于限位晶圆的边缘。本实用新型提供的防止晶圆掉落的石英舟，通过端口区的外侧增加两个限位槽棒，在容许晶圆通过的同时增加对端口区的覆盖和遮挡，防止晶圆旋转时自端口区脱落。
本实用新型防止晶圆掉落的石英舟在权利要求书中公布了：1.防止晶圆掉落的石英舟，其特征在于，包括： 石英舟本体，所述石英舟本体包括架体、下槽棒4组和上槽棒3组；所述架体具有两个平行的端板1，两个所述端板1之间形成容纳空间，所述下槽棒4组和所述上槽棒3组均位于所述容纳空间内用于限位晶圆；所述上槽棒3组包括两个对称设置的上槽棒3，两个所述上槽棒3之间为容许晶圆插入的端口区； 限位组件，所述限位组件位于所述容纳空间内，所述限位组件包括两个对称设置的限位槽棒2，两个所述限位槽棒2位于所述端口区的上侧，且两个所述限位槽棒2的间距小于或等于所述端口区的宽度，用于限位晶圆的边缘。
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