东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司许鸿亮获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利传片装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223693095U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423317441.2,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型传片装置是由许鸿亮;米涛;肖博涛设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本传片装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种传片装置,包括传输结构、旋转组件和升降组件,传输结构具有用于承载晶圆的承载部;旋转组件包括旋转驱动件和旋转连接件,旋转驱动件的旋转驱动端与传输结构分别连接于旋转连接件在高度方向上的两端;升降组件包括沿水平方向间隔设置的升降驱动件和升降连接件,升降连接件连接于升降驱动件的升降驱动端与旋转组件之间,以驱动旋转组件沿高度方向移动。本申请的传片装置,能够在真空环境中实现对晶圆准确的传片操作,保证传片精度,并且装置成本较低,整体高度和占用空间均较低。
本实用新型传片装置在权利要求书中公布了:1.一种传片装置,其特征在于,包括: 传输结构,具有用于承载晶圆的承载部; 旋转组件,包括旋转驱动件和旋转连接件,所述旋转驱动件的旋转驱动端与所述传输结构分别连接于所述旋转连接件在高度方向上的两端; 升降组件,包括升降驱动件和升降连接件,所述升降驱动件与所述旋转驱动件沿水平方向间隔设置,所述升降连接件连接于所述升降驱动件的升降驱动端与所述旋转组件之间,以驱动所述旋转组件沿所述高度方向移动。
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