芯联集成电路制造股份有限公司冯小艺获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联集成电路制造股份有限公司申请的专利位置校准治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223693099U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423119024.7，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型位置校准治具是由冯小艺设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本位置校准治具在说明书摘要公布了：一种位置校准治具，用于校准晶圆在晶舟中的位置，所述位置校准治具包括：光源片，所述光源片呈圆形，在其第一表面的外周边缘上同心设置有至少三个第一光源；第一挡光片，所述第一挡光片呈圆形；其中，所述位置校准治具配置为：当所述光源片设置于所述晶舟内的第一位置，所述第一挡光片设置于所述晶舟内的第二位置，且所述光源片和所述第一挡光片之间的晶舟区域内设置有至少一个晶圆时；所述第一光源用于向所述第一挡光片所处的方向上的预设位置发射校准光线，并在所发出的校准光线未被所述晶圆阻挡时在所述第一挡光片上留下光斑。本申请相较于人工肉眼校准，能够极大地降低校准误差。
本实用新型位置校准治具在权利要求书中公布了：1.一种位置校准治具，其特征在于，用于校准晶圆在晶舟中的位置，所述位置校准治具包括： 光源片，所述光源片呈圆形，在其第一表面的外周边缘上同心设置有至少三个第一光源； 第一挡光片，所述第一挡光片呈圆形； 其中，所述位置校准治具配置为： 当所述光源片设置于所述晶舟内的第一位置，所述第一挡光片设置于所述晶舟内的第二位置，且所述光源片和所述第一挡光片之间的晶舟区域内设置有至少一个晶圆时； 所述第一光源用于向所述第一挡光片所处的方向上发射校准光线，并在所发出的校准光线未被所述晶圆阻挡时在所述第一挡光片上留下光斑。
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