苏州芯睿科技有限公司杨茂帅获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯睿科技有限公司申请的专利一种分布吸力吸盘装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223693106U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423313268.9,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种分布吸力吸盘装置是由杨茂帅;辛玄霸;张羽成设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分布吸力吸盘装置在说明书摘要公布了:本申请属于晶圆热解键工艺技术领域,提供了一种分布吸力吸盘装置,吸附组件和固定组件,所述吸附组件包括气管接头、吸盘通气管、吸盘,所述固定组件包括直线轴承、固定块和缓冲弹性件;所述气管接头的下端和所述吸盘通气管的上端固定连接,所述吸盘通气管穿过所述直线轴承,下端与所述吸盘固定连接,所述直线轴承设置在所述固定块上的通孔内,所述固定块通过所述缓冲弹性件连接所述吸盘;所述固定组件上至少设置两个所述吸附组件。通过将集中的应力均匀分布在载片上,防止载片破片,能够防止载片的破片,因此具有显著效果。
本实用新型一种分布吸力吸盘装置在权利要求书中公布了:1.一种分布吸力吸盘装置,其特征在于,包括: 吸附组件和固定组件,所述吸附组件包括气管接头、吸盘通气管、吸盘,所述固定组件包括直线轴承、固定块和缓冲弹性件; 所述气管接头的下端和所述吸盘通气管的上端固定连接,所述吸盘通气管穿过所述直线轴承,下端与所述吸盘固定连接,所述直线轴承设置在所述固定块上的通孔内,所述固定块通过所述缓冲弹性件连接所述吸盘; 所述固定组件上至少设置两个所述吸附组件。
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