宁波芯健半导体有限公司李晓清获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波芯健半导体有限公司申请的专利一种承载基板的载具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223693113U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423321522.X,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种承载基板的载具是由李晓清;汪洋;周科群;罗立辉设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种承载基板的载具在说明书摘要公布了:本申请涉及一种承载基板的载具,属于半导体加工技术领域。该所述下载板顶部设置有供基板放置的放置区域,所述下载板在所述放置区域外沿设置有多个定位柱,所述下载板开设有与多个所述定位柱配合的定位通孔,所述下载板在放置区域外沿还设置有多个固定磁片,所述固定磁片和所述上盖板磁性配合。本申请具有提高基板和载具组装效率的效果。
本实用新型一种承载基板的载具在权利要求书中公布了:1.一种承载基板的载具,包括下载板1和上盖板2,其特征在于,所述下载板1顶部设置有供基板放置的放置区域11,所述下载板1在所述放置区域11外沿设置有多个定位柱3,所述下载板1开设有与多个所述定位柱3配合的定位通孔22,所述下载板1在放置区域11外沿还设置有多个固定磁片4,所述固定磁片4和所述上盖板2磁性配合。
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