苏州实验室胡锐获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州实验室申请的专利一种基于AlScN薄膜的铁电超表面太赫兹调制器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223693372U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520050682.0，技术领域涉及：H01Q15/00；该实用新型一种基于AlScN薄膜的铁电超表面太赫兹调制器是由胡锐;邵卫晶;王新朋;童祎设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于AlScN薄膜的铁电超表面太赫兹调制器在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基于AlScN薄膜的铁电超表面太赫兹调制器，包括由下至上依次设置衬底层、铁电层及金属层，所述铁电层采用AlScN薄膜，其厚度为0.15μm，所述金属层采用铂金属，且所述金属层的金属结构上下方刻蚀有铂电极。本实用新型提供一种基于AlScN薄膜的铁电超表面太赫兹调制器，AlScN薄膜的铁电超表面具有动态可调的特性，能够通过在电极上施加电流使其复介电常数改变，从而实现结构抗性变化，改变对太赫兹波的透射谐振。通过在AlScN薄膜上构建金属结构层并通过电极施加电流来进行介电常数调制从而实现太赫兹波传输动太调制的能力，具有良好的动态可调特性和稳定性，满足现代铁电基太赫兹光子器件对灵活性和高性能的需求。
本实用新型一种基于AlScN薄膜的铁电超表面太赫兹调制器在权利要求书中公布了：1.一种基于AlScN薄膜的铁电超表面太赫兹调制器，其特征在于：包括由下至上依次设置衬底层、铁电层及金属层，所述铁电层采用AlScN薄膜，其厚度为0.15μm，所述金属层采用铂金属，且所述金属层的金属结构上下方刻蚀有铂电极。
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