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苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司申请的专利芯片装片机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111048456B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911006722.7,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权芯片装片机是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2019-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。

芯片装片机在说明书摘要公布了:本发明提供一种芯片装片机,其包括:芯片供给机构、第一装片工位以及第二装片工位,所述第一装片工位以及第二装片工位镜像对称地设置于所述芯片供给机构的两侧。本发明的芯片装片机通过采用双工位装片,提高了装片的产能和效率。同时,本发明的芯片装片机还具有较高的装片精度,充分满足了现代化工业生产的装片需求。

本发明授权芯片装片机在权利要求书中公布了:1.一种芯片装片机,其特征在于,所述芯片装片机包括:芯片供给机构、第一装片工位以及第二装片工位,所述第一装片工位以及第二装片工位镜像对称地设置于所述芯片供给机构的两侧; 所述芯片供给机构包括:晶圆台、位于所述晶圆台上方的第一视觉; 任一所述装片工位包括:第一传送机构、校正机构、第二传送机构、装片机构; 所述第一传送机构包括:第一传送臂、设置于所述第一传送臂一端的吸嘴,所述第一传送臂于所述晶圆台和校正机构之间进行往复枢转运动;所述校正机构包括:校正台、设置于所述校正台上方的第二视觉,所述校正台以自身轴线为转轴进行旋转校准,同时以第二视觉的中心为目标点进行XY运动校正; 所述第二传送机构包括:第二传送臂、设置有所述第二传送臂一端的吸嘴,所述第二传送臂于所述校正机构与装片机构之间进行往复直线运动,且所述第二传送臂自身进行枢转运动;所述装片机构包括:装片台、位于所述装片台上方的第三视觉; 所述装片机构还包括水平校准组件,其包括:水平校准台以及多个校准螺栓,所述装片台的至少四角位置通过所述校准螺栓固定于所述水平校准台上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司,其通讯地址为:215513 江苏省苏州市常熟经济技术开发区四海路11号科创园5-102;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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