株式会社迪思科有福法久获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利保护部件的设置方法和保护部件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112802790B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011251102.2,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权保护部件的设置方法和保护部件的制造方法是由有福法久;金子智洋;铃木章文;木村昌照设计研发完成,并于2020-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本保护部件的设置方法和保护部件的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供保护部件的设置方法和保护部件的制造方法,该保护部件即使从被加工物剥离也不会作为残渣而残留在被加工物上,减少在加工中成为垫层而使被加工物缺损或使芯片飞散的情况。保护部件的设置方法包含如下的步骤:树脂提供步骤,向支承工作台的平坦的支承面提供热塑性树脂;保护部件形成步骤,对热塑性树脂一边进行加热而软化一边沿着支承面推开而成型为片状,在支承面上形成片状的热塑性树脂的保护部件;保护部件粘接步骤,使作为被加工物的一个面的正面紧贴于片状的保护部件的一个面,对紧贴的保护部件进行加热而将保护部件粘接于被加工物;和粘接后冷却步骤,对通过保护部件粘接步骤进行了加热的保护部件进行冷却。
本发明授权保护部件的设置方法和保护部件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种保护部件的设置方法,该保护部件对板状的被加工物的一个面进行保护,该被加工物具有多个形成有多个器件的区域,其中, 该保护部件的设置方法具有如下的步骤: 树脂提供步骤,向支承工作台的平坦的支承面提供块状、带状、粒状或流动体状的热塑性树脂; 保护部件形成步骤,对该热塑性树脂一边进行加热而软化一边沿着该支承面推开而成型为片状,在该支承面上形成片状的该热塑性树脂的保护部件; 保护部件粘接步骤,使被加工物的具有多个形成有多个器件的区域的一个面直接紧贴于在该保护部件形成步骤中形成的片状的该保护部件的一个面,对紧贴的该保护部件进行加热而将该保护部件粘接于被加工物;以及 粘接后冷却步骤,对通过该保护部件粘接步骤进行了加热的该保护部件进行冷却。
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