株式会社迪思科小岛芳昌获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利加工装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112908891B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011389635.7,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权加工装置是由小岛芳昌设计研发完成,并于2020-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本加工装置在说明书摘要公布了:提供加工装置,作业者能够确认形成于被加工物的背面侧的槽是否沿着设定于被加工物的正面侧的分割预定线形成。加工装置具有:保持工作台,其具有由透明材料从一个面形成到另一个面的规定的区域;加工单元,其对被加工物进行加工;第1拍摄单元,其设置于保持工作台的上方;第2拍摄单元,其设置于保持工作台的下方;显示单元;以及控制部,其包含存储部,该存储部存储通过利用第2拍摄单元对正面侧被保持工作台的一个面保持的被加工物进行拍摄而取得的正面侧的图像所包含的规定的图案的位置信息,该控制部使在被加工物的厚度方向上与被加工物的背面侧的第1区域对应的正面侧的第2区域所包含的规定的图案与第1区域的图像重叠而显示在显示单元上。
本发明授权加工装置在权利要求书中公布了:1.一种加工装置,其特征在于, 该加工装置具有: 板状的保持工作台,其包含一个面和位于与该一个面相反的一侧的另一个面,并且该保持工作台具有由透明材料从该一个面形成到该另一个面的规定的区域; 加工单元,其在正面侧具有规定的图案的被加工物的该正面侧被该保持工作台的该一个面保持并且该被加工物的背面侧向上方露出的状态下对该被加工物进行加工; 第1拍摄单元,其在该保持工作台的上方以与该一个面对置的方式设置; 第2拍摄单元,其在该保持工作台的下方以与该另一个面对置的方式设置; 显示单元,其显示由该第1拍摄单元和该第2拍摄单元中的至少任意一个拍摄单元取得的图像;以及 控制部,其包含存储部,该存储部存储通过利用该第2拍摄单元对该正面侧被该保持工作台的该一个面保持的该被加工物进行拍摄而取得的该正面侧的图像所包含的该规定的图案的位置信息,该控制部使在该被加工物的厚度方向上与该被加工物的该背面侧的第1区域对应的该正面侧的第2区域所包含的该正面侧的该规定的图案与该第1拍摄单元所拍摄到的该背面侧的该第1区域的图像重叠而显示在该显示单元上。
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