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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置及衬底处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114242613B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111056125.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底处理装置及衬底处理方法是由山口贵大;小林健司;泽岛隼;吉田武司;根来世;折坂昌幸设计研发完成，并于2021-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底处理装置及衬底处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。衬底处理装置1具备：筒状护罩53A，接住从衬底W向外侧飞溅的液体；腔室12，包围护罩53A；间隔板81，将腔室12内的护罩53A周围的空间上下隔开；以及排气管，将护罩53A内侧的气体与间隔板81下侧的气体吸引到在腔室12内配置在比间隔板81更靠下方的上游端内，并排出到腔室12的外部。间隔板81包含：外周端81o，从腔室12的内周面12i向内侧离开；以及内周端，包围护罩53A。护罩升降单元通过使护罩53A升降，而改变从间隔板81的内周端内周面83i到护罩53A的最短距离。

本发明授权衬底处理装置及衬底处理方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，具备： 衬底保持单元，将衬底水平地保持； 衬底旋转单元，使所述衬底保持单元所保持的所述衬底绕通过所述衬底的中央部的铅直旋转轴线旋转； 药液喷嘴，朝向所述衬底保持单元所保持的所述衬底喷出药液； 筒状护罩，包含在俯视时包围所述衬底保持单元所保持的所述衬底的上端部、及朝向所述上端部向斜上方延伸的圆筒状倾斜部，且接住从所述衬底保持单元所保持的所述衬底向外侧飞溅的液体； 腔室，包含包围所述护罩的内周面； 间隔板，包含从所述腔室的所述内周面向内侧离开的外周端、及包围所述护罩的内周端，且将所述腔室内的所述护罩周围的空间上下隔开； 护罩升降单元，通过使所述护罩升降，而改变从所述间隔板的所述内周端到所述护罩的最短距离；以及 排气管，包含在所述腔室内配置在比所述间隔板更靠下方的上游端，将所述护罩内侧的气体与所述间隔板下侧的气体吸引到所述上游端内，并排出到所述腔室的外部；其中 所述护罩的外周面包含具有铅直的直线状截面的圆筒状铅直部； 所述间隔板包含：包含所述内周端的内周环； 所述内周环包含将所述腔室内的所述护罩周围的空间上下隔开的水平部、及包含所述内周端，从所述水平部向下方延伸的圆筒状铅直部；且 所述内周环的所述铅直部的内周面具有铅直的直线状截面，且在俯视时包围所述护罩的所述铅直部。

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