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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种表面检测方法、设备以及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334692B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111635133.2，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种表面检测方法、设备以及存储介质是由陈鲁;洪艮超;董坤玲;张鹏斌;张嵩设计研发完成，并于2021-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种表面检测方法、设备以及存储介质在说明书摘要公布了：一种表面检测方法、设备以及存储介质，表面检测方法，包括：将背景图像调整至预设颜色，预设颜色包括至少一种颜色；调整待测物体的待测表面至预设角度，预设角度包括至少一个角度，预设角度反映待测表面与水平面的夹角；将背景图像确定为待测表面的成像背景，采集待测表面对应的检测图像，其中，检测图像包括背景图像的部分或全部在待测表面上反射形成的反射图像；根据检测图像，检测待测表面的预设特征。可见，采用上述表面检测方法，可以形成多种光谱、多种成像角度对应的检测图像，通过处理终端对多个检测图像进行缺陷检测，提高自动化程度、提升晶圆缺陷检出率以及提高检测的精确度以及一致性。

本发明授权一种表面检测方法、设备以及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种表面检测方法，其特征在于，包括： 将背景图像调整至预设颜色，所述预设颜色包括至少一种颜色； 调整待测物体的待测表面至预设角度，所述预设角度包括至少一个角度，所述预设角度反映所述待测表面与水平面的夹角； 将所述背景图像确定为所述待测表面的成像背景，采集所述待测表面对应的检测图像，其中，所述检测图像包括所述背景图像的部分或全部在所述待测表面上反射形成的反射图像； 根据所述检测图像，检测所述待测表面的预设特征；其中： 当所述背景图像的颜色为非黑色中的至少一种颜色时，所述预设角度包括至少两个角度，每一个所述预设角度对应至少一种颜色的所述背景图像；所述采集所述待测表面对应的检测图像，包括：根据所述背景图像的颜色，将所述待测表面调整至对应所述预设颜色的所述预设角度；或，根据所述预设角度，将所述背景图像调整至对应所述预设角度的所述预设颜色；在非黑色的所述背景图像为所述待测表面的成像背景的情况下，采集所述待测表面对应的检测图像； 当所述背景图像的颜色为黑色时，所述预设角度包括至少一个角度；所述采集所述待测表面对应的检测图像，包括：将所述待测表面调整至所述预设角度；在黑色的所述背景图像为所述待测表面的成像背景的情况下，采集所述待测表面对应的检测图像； 所述待测物体为晶圆，所述待测表面为晶圆的正面和或背面，所述预设特征为晶圆的宏观缺陷，其中，所述宏观缺陷包括第一缺陷类别以及第二缺陷类别，所述第一缺陷类别包括色差、水印以及气泡中的至少一种，所述第二缺陷类别包括划痕以及工艺微粒中的至少一种；其中：在所述背景图像的颜色为非黑色中的至少一种颜色的情况下，所述方法用于检测所述第一缺陷类别，在所述背景图像的颜色为黑色的情况下，所述方法用于检测所述第二缺陷类别。

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