云谷(固安)科技有限公司姜力铭获国家专利权
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龙图腾网获悉云谷(固安)科技有限公司申请的专利退火设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114639621B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210222274.X,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权退火设备是由姜力铭;秦心宇;胡双;苏文学设计研发完成,并于2022-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本退火设备在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种退火设备,涉及退火装置技术领域,用于解决与基板边缘位置对应的显示模组区域在显示画面时存在低灰阶画面不均一的技术问题。该退火设备包括退火腔,所述退火腔内沿第一方向间隔设置有至少两个加热层,相邻两个所述加热层以及相邻两个加热层之间的侧壁围合形成一个退火室;相邻两个加热层之间的侧壁包括第一侧壁和第二侧壁,所述第一侧壁上设置有第一加热器和进气孔,所述第二侧壁上设置有出气孔;所述进气孔的出气端设置有第一导气管,所述第一导气管伸入所述退火室内。
本发明授权退火设备在权利要求书中公布了:1.一种退火设备,其特征在于,包括退火腔,所述退火腔内沿第一方向间隔设置有至少两个加热层,相邻两个所述加热层以及相邻两个加热层之间的侧壁围合形成一个退火室; 相邻两个加热层之间的侧壁包括第一侧壁和第二侧壁,所述第一侧壁上设置有第一加热器和进气孔,所述第二侧壁上设置有出气孔; 所述进气孔的出气端设置有第一导气管,所述第一导气管伸入所述退火室内;所述退火室内靠近所述第一侧壁的一侧设置有第一防辐射匀热板,所述第一防辐射匀热板将所述退火室分为第一空间和第二空间,退火处理的物件置于所述第二空间内; 所述第一导气管依次穿过所述第一空间和所述第一防辐射匀热板后伸入所述第二空间内; 所述进气孔设有多个,至少两个所述进气孔的出气端设置有第一导气管,所述第一防辐射匀热板安装于所述第一导气管上;不设置第一导气管的进气孔的出气端设置第三导气管,所述第三导气管的出气口位于第一空间内。
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