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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利一种耐蚀静电卡盘及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114899138B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210510690.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种耐蚀静电卡盘及其制造方法是由张玉利;杨鹏远;王建冲;王超星设计研发完成，并于2022-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种耐蚀静电卡盘及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种耐蚀静电卡盘及其制造方法。该耐蚀静电卡盘包括由上至下设置的第一陶瓷层、第二陶瓷层和冷却基座，所述第一陶瓷层的背面设有至少一个电极；所述第一陶瓷层和所述第二陶瓷层之间设有第一绝缘结合层；所述冷却基座和第二陶瓷层的背面之间设有第二绝缘结合层。本发明的静电卡盘的耐腐蚀性、结合强度和气密性优异，导热性良好，温度变化引起的形变小，介电层均匀；第一绝缘结合层的耐射频时间由300RFHrs提高到4500RFHrs以上。

本发明授权一种耐蚀静电卡盘及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种耐蚀静电卡盘的制造方法，其特征在于，所述耐蚀静电卡盘包括由上至下设置的第一陶瓷层、第二陶瓷层和冷却基座，所述第一陶瓷层的背面设有至少一个电极；所述第一陶瓷层和所述第二陶瓷层之间设有第一绝缘结合层；所述冷却基座和第二陶瓷层的背面之间设有第二绝缘结合层； 其制造方法包括以下步骤： 第一陶瓷层的背面按照电极图案制备电极； 在带电极的第一陶瓷层与第二陶瓷层之间制备第一绝缘结合层，形成陶瓷吸附层； 在陶瓷吸附层与冷却基座之间制备第二绝缘结合层，第二绝缘结合层连接陶瓷吸附层和冷却基座； 其中，所述第一绝缘结合层的制备过程包括以下步骤： 1将玻璃微粉添加溶剂、分散剂、增稠剂、表面活性剂、粘结剂、着色剂制成玻璃浆料； 2将所述玻璃浆料装入3D打印机中； 33D打印机的喷嘴按照三维模型，往复运行，将玻璃浆料均匀喷洒在第一陶瓷层的背面和电极间隙； 43D打印机的加热源对第一陶瓷层背面的玻璃浆料加热熔融，形成致密的玻璃； 5按照步骤1~4，对第二陶瓷层表面完成玻璃覆盖； 将带玻璃的第一陶瓷层和带玻璃的第二陶瓷层对位贴合，放入3D打印机中； 启动3D打印机中的加热源，二次加热置玻璃熔融状态，冷却结合成致密的第一绝缘结合层。

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