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龙图腾网获悉合肥御微半导体技术有限公司申请的专利一种调焦调平装置与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115145128B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210932314.X，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权一种调焦调平装置与方法是由崔国栋设计研发完成，并于2022-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种调焦调平装置与方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种调焦调平装置与方法，装置包括：位移台，用于承载待测目标物；光学成像系统，位于待测目标物远离位移台的一侧；垂向位移传感器，用于测量待测目标物的面型；驱动机构，使位移台随横向轴和或纵向轴移动；垂向轴以使光学成像系统随垂向轴移动；控制器分别与光学成像系统、垂向位移传感器和驱动机构连接，基于光学成像系统采集的待测目标物图像，计算待测目标物图像的模糊尺度，结合模糊尺度与离焦量之间的实际映射关系，计算出反馈补偿离焦量，根据反馈补偿离焦量更新垂向轴的期望位置。以实现在线补偿离焦量。

本发明授权一种调焦调平装置与方法在权利要求书中公布了：1.一种调焦调平装置，其特征在于，包括： 位移台，所述位移台用于承载待测目标物； 光学成像系统，位于所述待测目标物远离所述位移台的一侧； 驱动机构，包括横向轴、纵向轴和垂向轴，所述横向轴和所述纵向轴分别与所述位移台连接，以使所述位移台沿随横向轴和或纵向轴移动；所述垂向轴与所述光学成像系统连接，以使所述光学成像系统随所述垂向轴移动； 控制器，分别与所述光学成像系统和所述驱动机构连接，基于所述光学成像系统采集的待测目标物图像计算所述待测目标物图像的模糊尺度，结合所述模糊尺度与离焦量之间的实际映射关系，获取反馈补偿离焦量，以根据所述反馈补偿离焦量更新所述垂向轴的期望位置；其中，所述模糊尺度与离焦量之间的实际映射关系的获取方式为，在实时对焦的前期获取不同高度的标记的参考图像，根据相应的参考图像获取点扩散函数的模糊尺度，根据不同垂向高度标记的参考图像，以及相应参考图像计算的模糊尺度进行拟合，获取模糊尺度与垂向高度之间的实际映射关系，进而获取模糊尺度与离焦量之间的实际映射关系； 其中，当待测目标物与光学成像系统的最佳焦面不重合时会产生离焦，对于离焦引起的图像模糊，通过如下数学表达式进行描述： ImageDetectionu,v＝Imageidealu,v*PSFu,v+Noiseu,v； 其中，u,v表示图像坐标系中的横向和纵向坐标，ImageDetection表示光学成像系统经过光学系统实际所采集到的图像信息，Imageideal表示处于光学成像系统最佳焦面时待测目标物的图像信息，PSF是表示光学成像系统特性的点扩散函数，Noise表示由于照明、环境、图像传感器、以及光学成像系统所产生的噪声； 当待测目标物离焦以后，图像的模糊PSF通过下面的数学表达式进行描述， 其中，模糊尺度ρ表示模糊的大小，是离焦量的函数。

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