诺思(天津)微系统有限责任公司班圣光获国家专利权
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龙图腾网获悉诺思(天津)微系统有限责任公司申请的专利谐振器及其形成方法、电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115149920B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110346075.5,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权谐振器及其形成方法、电子设备是由班圣光设计研发完成,并于2021-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本谐振器及其形成方法、电子设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种谐振器及其形成方法,以及一种电子设备。该谐振器包括:衬底、声学镜、底电极、压电层、顶电极、图形化的负载层,也可包括钝化层,其中,图形化的负载层中,定义负载材料覆盖面积占谐振器有效总面积的比例为图形占空比,图形占空比记为r且0≤r≤1,谐振器满足如下限定条件:Fs1‑Fs2Fs1≤K,其中,Fs1为无负载层情况下谐振器的串联谐振频率,Fs2为引入r=1的负载层的情况下谐振器的串联谐振频率,K为预设阈值。本发明通过控制负载层的厚度,使得谐振器满足“Fs1‑Fs2Fs1≤K”的限定条件,这时使用图形化的负载层基本不会对谐振器性能产生影响,不会有明显的恶化,提高了器件良率。本发明的技术方案具有简单易行等优点。
本发明授权谐振器及其形成方法、电子设备在权利要求书中公布了:1.一种谐振器,其特征在于,包括:衬底、声学镜、底电极、压电层、顶电极、图形化的负载层,其中,图形化的负载层中,图形占空比r为0≤r≤1,所述图形占空比为负载材料覆盖面积占谐振器有效总面积的比例,所述谐振器满足如下限定条件: Fs1-Fs2Fs1≤K,其中,Fs1为无负载层情况下谐振器的串联谐振频率,Fs2为引入r=1的负载层的情况下谐振器的串联谐振频率,K为预设阈值; 所述负载层的厚度使所述谐振器满足所述限定条件。
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