浜松光子学株式会社坂本刚志获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉浜松光子学株式会社申请的专利检查装置及检查方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115210856B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180019121.9，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权检查装置及检查方法是由坂本刚志;荻原孝文;佐野育设计研发完成，并于2021-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本检查装置及检查方法在说明书摘要公布了：检查装置具备：激光照射单元，其从具有背面及表面的晶圆的背面侧，朝该晶圆照射激光；摄像单元，其对晶圆输出具有透过性的光，检测在晶圆传播的光；及控制部，其构成为执行：第一处理，该第一处理是控制激光照射单元，以通过对晶圆照射激光，在晶圆的内部形成改性区域；及第二处理，该第二处理基于从检测到光的摄像单元输出的信号，导出改性区域的位置，基于导出的改性区域的位置及设定的配方，导出晶圆的厚度。
本发明授权检查装置及检查方法在权利要求书中公布了：1.一种检查装置，其中， 具备： 照射部，其从具有第一表面及第二表面的晶圆的所述第一表面侧，对所述晶圆照射激光； 摄像部，其对所述晶圆输出具有透过性的光，检测在所述晶圆传播的所述光；及 控制部，其构成为执行：第一处理，以通过对所述晶圆照射所述激光，在所述晶圆的内部形成改性区域的方式，控制所述照射部；及第二处理，基于从检测到所述光的所述摄像部所输出的信号，导出所述改性区域的位置，基于导出的所述改性区域的位置及设定的加工条件，导出所述晶圆的厚度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浜松光子学株式会社，其通讯地址为：日本静冈县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励