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龙图腾网获悉深圳市单色科技有限公司申请的专利基于二维声光偏转器的晶圆激光解键合的系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115319278B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211043328.2，技术领域涉及：B23K26/064；该发明授权基于二维声光偏转器的晶圆激光解键合的系统及方法是由王玉龙;乔磊;张波;曾清宏;张弛设计研发完成，并于2022-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于二维声光偏转器的晶圆激光解键合的系统及方法在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种基于二维声光偏转器的晶圆激光解键合的系统及方法。其中，该系统包括：整形模块，被配置为对所发射的高斯型强度分布的激光束进行整形，使得所述激光束在聚焦的情况下能够产生方形平顶焦点光斑；光束调节模块，被配置为调制整形后的所述激光束产生1级衍射光，并以高于预设频率阈值的频率对所述1级衍射光的衍射角度进行二维调节，使得所述1级衍射光以高于第一预设速度阈值的速度在二维平面内进行扫描；场镜，被配置为聚焦所述1级衍射光生成所述方形平顶焦点光斑，以解键合所述待解键合晶圆。本申请实施例解决了解键合效率较低的技术问题。

本发明授权基于二维声光偏转器的晶圆激光解键合的系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于二维声光偏转器的晶圆激光解键合的光学系统，其特征在于，包括沿光路依次布置的： 整形模块2，被配置为对所发射的高斯型强度分布的激光束进行整形，使得所述激光束在聚焦的情况下能够产生方形平顶焦点光斑； 光束调节模块，被配置为调制整形后的所述激光束产生1级衍射光，并以高于预设频率阈值的频率对所述1级衍射光的衍射角度进行二维调节，使得所述1级衍射光以高于第一预设速度阈值的速度在二维平面内进行扫描； 场镜8，被配置为聚焦所述1级衍射光以生成所述方形平顶焦点光斑，其中，所述方形平顶焦点光斑在所述二维调节的作用下、以高于第二预设速度阈值的速度在所述晶圆的加工面内扫描放置在所述加工面上的待解键合晶圆9，以解键合所述待解键合晶圆9； 其中，所述光束调节模块包括： 二维声光偏转器3，被配置为调制整形后的所述激光束产生所述1级衍射光和未经过调制的零级光及其他非需要的衍射光，并以高于预设频率阈值的频率对所述1级衍射光的衍射角度进行二维调节； 反射镜，被配置为改变所述二维声光偏转器3产生的所述1级衍射光的传播方向，使得所述1级衍射光被反射进入振镜7； 所述振镜7，被配置为调节所述1级衍射光的位置，使得所述方形平顶焦点光斑能够被定位辐照于所述待解键合晶圆9的位置； 所述光学系统还包括光束终止装置4，被配置为遮挡所述未经过调制的零级光及所述其他非需要的衍射光，其中，所述光束终止装置4为带水冷的挡光板； 所述光学系统还包括： 加工平台，被配置为固定所述待解键合晶圆9； 运动控制机构，被配置为驱动所述加工平台相对所述方形平顶焦点光斑沿着预定路径移动，驱动所述振镜7角度偏转，驱动所述声光偏转器3偏转，以调节所述1级衍射光的偏转角度。

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