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龙图腾网获悉大日本印刷株式会社申请的专利掩模装置的制造装置、记录介质、掩模装置的制造方法以及掩模装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115478246B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210673915.3，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权掩模装置的制造装置、记录介质、掩模装置的制造方法以及掩模装置是由冈本英介设计研发完成，并于2022-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本掩模装置的制造装置、记录介质、掩模装置的制造方法以及掩模装置在说明书摘要公布了：本发明提供掩模装置的制造装置、记录介质、掩模装置的制造方法以及掩模装置。掩模装置可以具备：框架，其包含隔着开口在第1方向上对置的第1边和第2边、以及隔着开口在与第1方向交叉的第2方向上对置的第3边和第4边；和掩模，其包含固定于第1边和第2边的端部。制造装置可以具备：按压机构，其在朝向开口的方向上按压第1边和第2边；位移测量机构，其对第1边和第2边在第1方向上的变形量进行测量；以及固定装置，其将掩模固定于第1边和第2边。按压机构可以包含：按压第1边的5个以上的按压装置，它们沿着第2方向隔开500mm以下的间隔排列；和按压第2边的5个以上的按压装置，它们沿着第2方向隔开500mm以下的间隔排列。

本发明授权掩模装置的制造装置、记录介质、掩模装置的制造方法以及掩模装置在权利要求书中公布了：1.一种掩模装置的制造装置，其特征在于， 所述掩模装置具备：框架，其包含隔着开口在第1方向上对置的第1边和第2边、以及隔着所述开口在与所述第1方向交叉的第2方向上对置的第3边和第4边；和掩模，其包含固定于第1边和第2边的端部， 所述制造装置具备： 按压机构，其在朝向所述开口的方向上按压所述第1边和所述第2边； 位移测量机构，其对所述第1边和所述第2边在所述第1方向上的变形量进行测量； 固定装置，其将所述掩模固定于所述第1边和所述第2边；以及 控制所述按压机构和所述固定装置的控制装置， 所述按压机构包含：按压所述第1边的5个以上的按压装置，它们沿着所述第2方向隔开500mm以下的间隔排列；和按压所述第2边的5个以上的按压装置，它们沿着所述第2方向隔开500mm以下的间隔排列， 所述掩模装置具备沿着第2方向排列的N张所述掩模，其中，N为2以上的整数， 按压所述第1边的所述按压机构具备：中央组，其包含1个或2个所述按压装置；第1组，其在所述第2方向上位于所述中央组与所述第3边之间，且包含2个以上的所述按压装置；以及第2组，其在所述第2方向上位于所述中央组与所述第4边之间，且包含2个以上的所述按压装置， 所述控制装置构成为以如下方式进行控制： 所述固定装置将所述掩模按照在所述第2方向上距所述框架的中心从远到近的顺序固定于所述第1边和所述第2边， 所述按压机构以各掩模被固定于所述第1边时的所述变形量与目标变形量之差处于第1阈值以下的方式按压所述第1边和所述第2边， 所述中央组的所述按压装置在将第1张所述掩模固定于所述框架时对所述第1边施加第1按压力1， 所述中央组的所述按压装置在将第U张所述掩模固定于所述框架时对所述第1边施加第1按压力U，其中，U为大于1且小于N的整数， 所述第1按压力U与所述第1按压力1的比率为1.05以上， 所述第1按压力U大于第1按压力N。

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