由田新技股份有限公司邹嘉骏获国家专利权
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龙图腾网获悉由田新技股份有限公司申请的专利气浮式输送平台及其检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115527906B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210606119.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权气浮式输送平台及其检测系统是由邹嘉骏;王人杰;赖宪平设计研发完成，并于2022-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本气浮式输送平台及其检测系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种气浮式输送平台及气浮式检测系统，所述气浮式检测系统包含气浮式输送平台、第一图像获取模块及第二图像获取模块。气浮式输送平台适于气浮输送工件至气浮式输送平台上的检测位置，其中第一开槽设置于气浮式输送平台上，并对应于检测位置。第一图像获取模块配置于所述气浮式输送平台一侧，以获取检测位置上的工件的正面图像。第二图像获取模块配置于气浮式输送平台的相对侧，通过第一开槽，以获取检测位置上的工件的背面图像。本发明的气浮式输送平台及气浮式检测系统可有效率地对晶圆进行检测。
本发明授权气浮式输送平台及其检测系统在权利要求书中公布了：1.一种气浮式输送平台，其特征在于，包括： 平台本体，具有第一开槽； 气流提供单元，适于从所述平台本体往工件供应气流，使所述工件悬浮于所述平台本体上方； 输送装置，适于输送所述工件至所述平台本体上的检测位置； 其中所述第一开槽设置于所述检测位置，使外部之第二图像捕获模块通过所述第一开槽获取所述检测位置上的所述工件的背面图像，且使外部之第一图像捕获模块获取所述检测位置上的所述工件的正面图像。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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