杭州广立微电子股份有限公司杨璐丹获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州广立微电子股份有限公司申请的专利识别晶体管、源漏极至体极的漏电路径的方法、存储设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115547867B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211205016.7,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权识别晶体管、源漏极至体极的漏电路径的方法、存储设备是由杨璐丹;曾祥芮;尤炎;潘伟伟设计研发完成,并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本识别晶体管、源漏极至体极的漏电路径的方法、存储设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种识别晶体管、源漏极至体极的漏电路径的方法、存储设备,其中,识别晶体管源漏极至体极的漏电路径的方法包括以下步骤:步骤一:获取版图,版图包括有源区图层、有源区连接层,有源区图层的图形为有源区,记为AA;有源区连接层的图形记为M0A,用于连接有源区;步骤二:沿着目标晶体管的栅极,对目标晶体管所在的AA进行切断,分割得到若干个AA子区域记为dif_not_seed;根据图层间的连接关系,识别出通过M0A与目标晶体管的体极存在连接的dif_not_seed,记为err_path1;步骤三:定义风险参数c1表示err_path1的数量;当c1=0时,判定不存在漏电路径;当c1>0时,判定存在漏电路径。能够有效识别晶体管源漏极至体极的漏电路径,便于对后续晶体管测试数据异常值的分析。
本发明授权识别晶体管、源漏极至体极的漏电路径的方法、存储设备在权利要求书中公布了:1.一种识别晶体管源漏极至体极的漏电路径的方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤一:获取版图,所述版图包括有源区图层、有源区连接层,所述有源区图层的图形为有源区,记为AA;所述有源区连接层的图形记为M0A,用于连接有源区; 步骤二:沿着目标晶体管的栅极,对目标晶体管所在的AA进行切断,分割得到若干个AA子区域,所述AA子区域记为dif_not_seed;根据图层间的连接关系,识别出通过M0A与目标晶体管的体极存在连接的dif_not_seed,记为err_path1; 步骤三:定义风险参数c1表示所述err_path1的数量;当c1=0时,判定目标晶体管不存在源极漏极至体极的漏电路径;当c1>0时,判定目标晶体管存在源极漏极至体极的漏电路径; 根据版图中的电路连接关系,识别出目标晶体管的源极漏极至体极的电路路径,记为err_path1_hole;并将所述err_path1_hole经过的浮栅记为err_path1_dumgate,所述浮栅是指无连接线外引进行输入输出控制的栅极; 定义风险参数c2表示与所述err_path1相接的err_path1_hole数量,定义风险参数c3表示与所述err_path1相接的err_path1_dumgate数量;利用风险参数c1、c2和c3量化表征目标晶体管存在源极漏极至体极的电路路径的漏电风险:当c1>0且c1=c2,说明目标晶体管存在源极漏极至体极的漏电路径,且漏电路径经过c3根浮栅,c3的值越小说明目标晶体管的源极漏极至体极的漏电路径的风险越高;当c1>0且c1>c2,说明目标晶体管存在源极漏极至体极的漏电路径,且该漏电路径为源极漏极通过M0A直接连到体极上,不经过浮栅,此时漏电路径的风险最高。
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