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龙图腾网获悉美新半导体(天津)有限公司申请的专利单芯片上的多轴MEMS传感融合装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115727827B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111020294.0，技术领域涉及：G01C19/56；该发明授权单芯片上的多轴MEMS传感融合装置是由金羊华;丁希聪;储莉玲;黄黎设计研发完成，并于2021-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本单芯片上的多轴MEMS传感融合装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种单芯片上的多轴MEMS传感融合装置，其包括：磁传感器；三轴陀螺仪，其被设置的包围所述磁传感器，所述磁传感器和所述三轴陀螺仪设置于同一个芯片中。这样，由单一芯片加工集成磁传感器和三轴陀螺仪，可以节省芯片面积，降低成本。

本发明授权单芯片上的多轴MEMS传感融合装置在权利要求书中公布了：1.一种单芯片上的多轴MEMS传感融合装置，其特征在于，其包括： 磁传感器； 三轴陀螺仪，其被设置的包围所述磁传感器， 所述磁传感器和所述三轴陀螺仪设置于同一个芯片中， 所述磁传感器位于所述三轴陀螺仪的中央， 所述三轴陀螺仪包括： 第一X轴质量块、第二X轴质量块、第一Y轴质量块、第二Y轴质量块、第一Z轴质量块、第二Z轴质量块； 第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、第四驱动机构； 第一驱动电极组、第二驱动电极组、第三驱动电极组、第四驱动电极组； 第一X轴检测电极、第二X轴检测电极、第一Y轴检测电极、第二Y轴检测电极、第一Z轴检测电极、第二Z轴检测电极； 锚点， 其中第一X轴检测电极设置于第一X轴质量块的下方，第一X轴质量块与第一X轴检测电极构成第一X轴检测电容，第二X轴检测电极设置于第二X轴质量块的下方，第二X轴质量块与第二X轴检测电极构成第二X轴检测电容， 第一Y轴检测电极设置于第一Y轴质量块的下方，第一Y轴质量块与第一Y轴检测电极构成第一Y轴检测电容，第二Y轴检测电极设置于第二Y轴质量块的下方，第二Y轴质量块与第二Y轴检测电极构成第二Y轴检测电容， 第一Z轴检测电极设置于第一Z轴质量块的中间，第一Z轴质量块与第一Z轴检测电极构成第一Z轴检测电容，第二Z轴检测电极设置于第二Z轴质量块的中间，第二Z轴质量块与第二Z轴检测电极构成第二Z轴检测电容， 第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、第四驱动机构通过连接梁与第一X轴质量块、第二X轴质量块连接，第一X轴质量块、第二X轴质量块通过连接梁与第一Y轴质量块、第二Y轴质量块连接，第一Z轴质量块、第二Z轴质量块通过连接梁与第一Y轴质量块、第二Y轴质量块连接， 第一驱动电极组、第二驱动电极组、第三驱动电极组、第四驱动电极组分别设置于第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、第四驱动机构中间位置，驱动机构上设置有动疏齿，驱动电极组上设置有定疏齿，通过向驱动电极组上加电压，产生静电力，进而驱动驱动机构产生运动， 第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、第四驱动机构分别位于所述磁传感器的四个角落处，第一驱动电极组、第二驱动电极组、第三驱动电极组、第四驱动电极组分别位于第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、第四驱动机构的中间， 所述锚点包括四个，四个锚点分别位于所述三轴陀螺仪的四个角。

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