长鑫存储技术有限公司吴虎获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利一种传送装置、控制方法及半导体生产设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115831857B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310004229.1，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种传送装置、控制方法及半导体生产设备是由吴虎设计研发完成，并于2023-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种传送装置、控制方法及半导体生产设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体领域，公开一种传送装置、控制方法及半导体生产设备。一种传送装置包括：机械手和冲洗机构；机械手包括连接部以及与连接部连接的执行主体，执行主体包括支撑手臂，支撑手臂靠近连接部一端设置有第一夹爪；支撑手臂背离连接部一端设置有第二夹爪；且第一夹爪、支撑手臂以及第二夹爪配合形成用于夹取晶圆的夹持空间；冲洗机构包括：供液管道、喷嘴和调节阀，供液管道与喷嘴连通，喷嘴朝向第二夹爪，用于冲洗或湿润第二夹爪；调节阀设置于供液管道上，用于调节供液管道内液体的流量。传送装置可以有效保证机械手的洁净度，防止研磨液在机械手的夹爪中残留形成结晶，污染晶圆表面。
本发明授权一种传送装置、控制方法及半导体生产设备在权利要求书中公布了：1.一种传送装置，其特征在于，包括：机械手和冲洗机构； 所述机械手包括连接部以及与所述连接部连接的执行主体，所述执行主体包括支撑手臂，所述支撑手臂靠近所述连接部一端设置有第一夹爪；所述支撑手臂背离所述连接部一端设置有第二夹爪；且所述第一夹爪、所述支撑手臂以及所述第二夹爪配合形成用于夹取晶圆的夹持空间； 所述冲洗机构包括：供液管道、喷嘴和调节阀，所述供液管道与所述喷嘴连通，所述喷嘴朝向所述第二夹爪，用于冲洗或湿润所述第二夹爪；所述调节阀设置于所述供液管道上，用于调节所述供液管道内液体的流量。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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