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深圳先进技术研究院刘旭辉获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳先进技术研究院申请的专利一种热敏薄膜、红外探测器及红外探测器的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115900966B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211306768.2,技术领域涉及:G01J5/20;该发明授权一种热敏薄膜、红外探测器及红外探测器的制备方法是由刘旭辉;李文杰;杨春雷;邓立刚;谭中营设计研发完成,并于2022-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种热敏薄膜、红外探测器及红外探测器的制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及热敏材料、红外探测技术领域,公开及一种热敏薄膜、红外探测器及红外探测器的制备方法,其中,所述热敏薄膜包括SnSex颗粒,其中,x=1~2。本发明提供的热敏薄膜的电阻温度系数TCR高达3.1%K,高于传统氧化钒及非晶硅热敏薄膜,可提高包含此热敏薄膜的器件的信号响应强度,提高器件性能。

本发明授权一种热敏薄膜、红外探测器及红外探测器的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种一体化红外探测器的制备方法,其特征在于,包括步骤: 提供基底; 在所述基底上形成电极; 通过分子束外延生长法,在所述电极上形成热敏层,在所述热敏层上形成二维平面方向垂直于热敏层的SnSey纳米片,y=1~4,得到红外吸收层; 所述热敏层为热敏薄膜,所述热敏薄膜包括SnSex颗粒,其中x=1~2;在所述电极上形成热敏层采用的工艺参数为:衬底的加热温度为150~280℃,Sn源的加热温度为900~1300℃,Se源的加热温度为220~280℃,反应时间为1~100min; 在所述热敏层上形成二维平面方向垂直于热敏层的SnSey纳米片采用的工艺参数为:衬底的加热温度为150~280℃,Sn源的加热温度为900~1300℃,Se源的加热温度为220~280℃,反应时间为1~100min。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳先进技术研究院,其通讯地址为:518000 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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