先进半导体材料(深圳)有限公司邢大为获国家专利权
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龙图腾网获悉先进半导体材料(深圳)有限公司申请的专利恒压喷淋设备、恒压喷淋方法以及监控器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116024580B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111246327.3，技术领域涉及：C23G3/00；该发明授权恒压喷淋设备、恒压喷淋方法以及监控器是由邢大为设计研发完成，并于2021-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本恒压喷淋设备、恒压喷淋方法以及监控器在说明书摘要公布了：本发明提供一种恒压喷淋设备、恒压喷淋方法以及监控器。所述恒压喷淋设备包括：储液缸、喷淋管、泵、过滤器以及控制器，所述控制器适于：调节泵的频率来调节液体的喷淋压力；确定所述过滤器的滤芯的滤芯系数，所述滤芯系数与所述泵的频率和所述液体的喷淋压力相关；以及根据所述滤芯的滤芯系数来发出提示信息。所述恒压喷淋方法包括步骤：调节泵的频率来调节液体的喷淋压力；确定过滤器的滤芯的滤芯系数，所述滤芯系数与所述泵的频率和所述液体的喷淋压力相关；以及根据所述滤芯的滤芯系数来发出提示信息。所述监控器包括获取器、控制器以及提示器。
本发明授权恒压喷淋设备、恒压喷淋方法以及监控器在权利要求书中公布了：1.一种恒压喷淋设备，其特征在于，包括： 储液缸，用于储存液体； 喷淋管，用于将所述液体喷洒到待处理工件的表面； 泵，用于将所述液体从所述储液缸抽取到所述喷淋管； 过滤器，位于所述泵和所述喷淋管之间，所述过滤器具有用于过滤所述液体的滤芯；以及 控制器，适于： 调节所述泵的频率来调节所述液体的喷淋压力； 确定所述过滤器的所述滤芯的滤芯系数，所述滤芯系数与所述泵的频率和所述液体的喷淋压力相关； 确定所述过滤器的所述滤芯的预定滤芯系数，所述预定滤芯系数与所述滤芯完全堵塞前预定时间的滤芯系数相关； 将所述滤芯的滤芯系数与所述滤芯的所述预定滤芯系数进行比较，当所述滤芯的滤芯系数达到所述预定滤芯系数时，发出提示信息； 其中，所述过滤器的所述滤芯的滤芯系数基于下面的公式来确定： 其中，α表示所述滤芯的滤芯系数，f表示所述泵的频率，P表示所述液体的喷淋压力。
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