细美事有限公司李元硕获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理方法和腔室清洁方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116031130B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211327100.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理方法和腔室清洁方法是由李元硕;尹荣培设计研发完成，并于2022-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法和腔室清洁方法在说明书摘要公布了：本发明构思提供了一种基板处理方法。所述基板处理方法包括：通过将过程等离子体传送到腔室的处理空间来处理基板；以及通过将清洁介质供应到定位在所述处理空间下方的所述腔室的排气空间来清洁排气空间。
本发明授权基板处理方法和腔室清洁方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，包括： 通过将过程等离子体传送到腔室的处理空间来处理基板；以及 通过将清洁介质供应到所述腔室的定位在所述处理空间下方的排气空间来清洁排气空间， 其中，所述处理空间和所述排气空间由具有通孔的排气挡板来分隔，所述通孔使所述处理空间和所述排气空间流体连通。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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