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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司申请的专利一种IPA晶圆干燥方法的集成模组获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116072568B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211096518.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种IPA晶圆干燥方法的集成模组是由陈新来;张静;李盼盼;邓信甫;卢证凯设计研发完成，并于2022-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种IPA晶圆干燥方法的集成模组在说明书摘要公布了：本发明涉及到一种IPA晶圆干燥方法的集成模组，该集成模组的组成包括有异丙醇输入管路202、循环超纯水输入管路205、循环超纯水输出管路206、加热氮气输入管路203、混合罐体201以及混合后气液共存液体输出管路204，混合罐体201包括有外壳和混合罐207，外壳内设有至少一个混合罐207，在混合罐体201上还设有混合后气液共存体输出端口215，通过混合后气液共存液体输出管路204将异丙醇和加热氮气混合物输送至所述干燥槽体101内。本发明的集成模组为晶圆清洗干燥设备稳定可控地提供液态异丙醇和加热氮气形成的混合液体，为晶圆快速干燥提供气体和液体氛围。

本发明授权一种IPA晶圆干燥方法的集成模组在权利要求书中公布了：1.一种IPA晶圆干燥方法的集成模组，其特征在于，该IPA晶圆干燥方法中通过一个集成模组200向干燥模组100的干燥槽体101内提供异丙醇和加热氮气混合物，该集成模组的组成包括有异丙醇输入管路202、循环超纯水输入管路205、循环超纯水输出管路206、加热氮气输入管路203、混合罐体201以及混合后气液共存液体输出管路204，所述混合罐体201结构上包括有外壳和混合罐207，所述外壳为带有罐体门板的箱状结构，在所述外壳内设有至少一个混合罐207； 所述外壳的前侧壁靠近底部位置设有异丙醇输入端口211，该异丙醇输入端口211连接所述的异丙醇输入管路202，在所述外壳的一侧壁设有超纯水输入端口212和超纯水输出端口213，分别对应连接所述的循环超纯水输入管路205和循环超纯水输出管路206，在所述外壳的后侧壁上设有加热氮气输入端口214，该加热氮气输入端口214连接所述的加热氮气输入管路203，在所述外壳的后侧壁上还设有混合后气液共存体输出端口215，该混合后气液共存体输出端口215连接混合后气液共存液体输出管路204的一端，该混合后气液共存液体输出管路204的另一端联通至槽体上盖102上，以将异丙醇和加热氮气混合物输送至所述干燥槽体101内； 所述的混合罐207外形呈圆柱体，该混合罐207通过一个上安装块220和一个下安装块221上下夹持固定于所述的外壳内，在混合罐207的侧壁上设有至少一个贯穿内外的液位侦测仪，所述混合罐207内部为包括涡流混合道216、缓冲回流槽217和热水浴区域218的三层结构，其中涡流混合道216为混合罐207中心设置的倒锥形空腔，所述混合罐207的底部中心位置设有罐体入口222，所述混合罐207的顶部中心位置设有罐体出口223，所述的罐体入口222联通异丙醇输入端口211以接收异丙醇输入至涡流混合道216内，所述混合罐207内的缓冲回流槽217上方位置联通所述的加热氮气输入端口214以接收加热氮气，所述混合罐207内的热水浴区域218联通所述的超纯水输入端口212和超纯水输出端口213以接收循环超纯水，所述的罐体出口223联通所述的混合后气液共存体输出端口215； 所述的循环超纯水输入管路205联通一个超纯水供应器，并在循环超纯水输入管路205上设有加热器，在所述加热器与超纯水输出端口213之间设有加热侦测器，所述的循环超纯水输出管路206联通所述的超纯水供应器，并在循环超纯水输出管路206上设有冷却器和循环泵，在冷却器与循环泵中间还设有一个降温侦测器。

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