华中光电技术研究所(中国船舶集团有限公司第七一七研究所)刘文明获国家专利权
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龙图腾网获悉华中光电技术研究所(中国船舶集团有限公司第七一七研究所)申请的专利石英谐振梁芯片贴片平行度测量装置及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116086356B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211551719.5，技术领域涉及：G01B11/26；该发明授权石英谐振梁芯片贴片平行度测量装置及测量方法是由刘文明;马东;曲天良;张鹏斐;张红波;张运权;宣扬;余文毅;陈炳贤设计研发完成，并于2022-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本石英谐振梁芯片贴片平行度测量装置及测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种石英谐振梁芯片贴片平行度测量装置，其包括载物台、检测头固定支架和位移探测装置；载物台安设在检测头固定支架上；用于对TO部件进行固定；使位移探测装置的激光光斑在载物台旋转一周的过程中始终打在TO部件环形封接面上；以及使位移探测装置的激光光斑在载物台旋转一周的过程中始终打在石英谐振梁芯片上；检测头固定支架用于固定位移探测装置；位移探测装置置于载物台上方，安设在检测头固定支架上，不与载物台上的TO部件接触。本发明还提供一种石英谐振梁芯片贴片平行度测量方法。本发明采用非无接触的方式测量石英谐振梁芯片贴片平行度，避免了对石英谐振梁芯片的损伤，而且不会影响石英谐振梁芯片贴片平行度。
本发明授权石英谐振梁芯片贴片平行度测量装置及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种石英谐振梁芯片贴片平行度测量装置，其特征在于：包括载物台、检测头固定支架和位移探测装置； 所述载物台安设在检测头固定支架上；用于对TO部件进行固定；测量TO部件环形封接面所在平面时，使位移探测装置的激光光斑在载物台旋转一周的过程中始终打在TO部件环形封接面上；测量石英谐振梁芯片上表面所在平面时，使位移探测装置的激光光斑在载物台旋转一周的过程中始终打在石英谐振梁芯片上； 所述检测头固定支架用于固定位移探测装置，及调整位移探测装置的精密位移探头的水平和竖直位置； 所述位移探测装置置于载物台上方，安设在检测头固定支架上，不与载物台上的TO部件接触，用于测量TO部件环形封接面所在平面及测量石英谐振梁芯片上表面所在平面的位移数据，及计算平行度误差。
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